| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第12-13页 |
| 参考文献 | 第13-15页 |
| 第二章 RoF系统中高速高饱和光探测器 | 第15-41页 |
| 2.1 RoF系统概述 | 第15-17页 |
| 2.2 高速高饱和光探测器的研究进展 | 第17-24页 |
| 2.2.1 高速高饱和PIN-PD的研究进展 | 第18-20页 |
| 2.2.2 高速高饱和UTC-PD的研究进展 | 第20-24页 |
| 2.3 UTC-PD的基本原理 | 第24-25页 |
| 2.4 UTC-PD的性能参数 | 第25-32页 |
| 2.4.1 响应度和量子效率 | 第25-26页 |
| 2.4.2 暗电流和噪声 | 第26-27页 |
| 2.4.3 介电弛豫时间 | 第27-28页 |
| 2.4.4 3dB带宽 | 第28-30页 |
| 2.4.5 饱和电流 | 第30-32页 |
| 2.5 UTC-PD的小信号模型 | 第32-35页 |
| 2.5.1 简化的小信号模型 | 第32-34页 |
| 2.5.2 改进的小信号模型 | 第34-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-41页 |
| 第三章 高速高饱和UTC-PD的性能优化研究 | 第41-63页 |
| 3.1 UTC-PD的仿真模型 | 第41-50页 |
| 3.1.1 三大基本方程 | 第41-42页 |
| 3.1.2 数值解技术 | 第42-43页 |
| 3.1.3 物理模型 | 第43-46页 |
| 3.1.4 材料参数 | 第46-50页 |
| 3.2 UTC-PD结构的优化设计 | 第50-53页 |
| 3.2.1 吸收层的优化设计 | 第50-52页 |
| 3.2.2 崖层的优化设计 | 第52-53页 |
| 3.3 UTC-PD性能的优化分析 | 第53-59页 |
| 3.3.1 高速响应特性分析 | 第53-56页 |
| 3.3.2 响应度与量子效率特性分析 | 第56-57页 |
| 3.3.3 饱和电流特性分析 | 第57页 |
| 3.3.4 大功率特性分析 | 第57-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 第四章 零偏压光探测器的性能研究 | 第63-75页 |
| 4.1 零偏压光探测器概述 | 第63-66页 |
| 4.2 PIN-PD的零偏压性能研究 | 第66-68页 |
| 4.3 UTC-PD的零偏压性能研究 | 第68-71页 |
| 4.4 PIN-PD与UTC-PD的零偏压性能对比分析 | 第71-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第五章 光探测器的后工艺制备与性能测试 | 第75-89页 |
| 5.1 器件的外延生长 | 第75-76页 |
| 5.2 外延片的质量测试与分析 | 第76-78页 |
| 5.2.1 XRD测试与分析 | 第76-77页 |
| 5.2.2 ECV测试与分析 | 第77-78页 |
| 5.3 器件的后工艺制备 | 第78-82页 |
| 5.4 器件的性能测试 | 第82-87页 |
| 5.4.1 电极的欧姆接触 | 第82-84页 |
| 5.4.2 暗电流测试 | 第84-85页 |
| 5.4.3 量子效率测试 | 第85-86页 |
| 5.4.4 3dB带宽测试 | 第86-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第91页 |