| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国内外超精密模辊加工机床的研究现状及分析 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内外数控系统研究现状及分析 | 第13-14页 |
| 1.2.3 国内外超精密机床及组成部件动态特性分析研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本课题的主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 模辊超精密加工机床数控系统搭建 | 第16-32页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 模辊超精密加工机床整体结构 | 第16-17页 |
| 2.3 模辊超精密加工机床的硬件选型 | 第17-21页 |
| 2.3.1 UMAC 运动控制器及工控机 | 第17-18页 |
| 2.3.2 超精密主轴和导轨系统 | 第18页 |
| 2.3.3 伺服驱动系统 | 第18-20页 |
| 2.3.4 测量反馈系统 | 第20-21页 |
| 2.4 基于 UMAC 的开放式数控系统结构及其接口电路设计 | 第21-27页 |
| 2.4.1 ACC-24E2A、OPT-1A 和 ACC-11E 附板介绍 | 第21-22页 |
| 2.4.2 控制系统电控系统设计及搭建 | 第22-24页 |
| 2.4.3 数控系统试运行 | 第24-27页 |
| 2.5 数控系统软件设计 | 第27-31页 |
| 2.5.1 UMAC 系统变量介绍 | 第27页 |
| 2.5.2 人机交互界面设计 | 第27-30页 |
| 2.5.3 数控系统软件功能实现 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 模辊超精密加工机床动力学分析 | 第32-49页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 影响控制系统带宽的因素 | 第32-33页 |
| 3.3 机床各部件模态分析 | 第33-40页 |
| 3.3.1 模态分析理论基础 | 第33页 |
| 3.3.2 机床各部件有限元建模 | 第33-35页 |
| 3.3.3 建模中考虑的问题 | 第35-36页 |
| 3.3.4 机床部件模态仿真结果及分析 | 第36-38页 |
| 3.3.5 机床整机模态仿真结果及分析 | 第38-40页 |
| 3.4 机床的瞬态动力学分析 | 第40-48页 |
| 3.4.1 瞬态动力学分析理论基础 | 第40-41页 |
| 3.4.2 导轨的瞬态动力学分析 | 第41-44页 |
| 3.4.3 带刀架的导轨系统瞬态动力学分析 | 第44-47页 |
| 3.4.4 主轴工件系统的瞬态动力学分析 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 运动控制系统设计及仿真 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 运动控制系统设计 | 第49-51页 |
| 4.2.1 UMAC 的伺服算法 | 第49-50页 |
| 4.2.2 模辊超精密加工机床控制结构 | 第50-51页 |
| 4.3 运动控制系统仿真 | 第51-56页 |
| 4.3.1 电流环模型简化 | 第51-54页 |
| 4.3.2 控制系统仿真 | 第54-56页 |
| 4.4 控制系统配置陷波器 | 第56-61页 |
| 4.4.1 导轨系统的瞬态响应频谱分析 | 第56-58页 |
| 4.4.2 UMAC 中陷波滤波器的设置 | 第58-59页 |
| 4.4.3 MATLAB 仿真控制系统中配置陷波器 | 第59-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
