| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 一维严格耦合波分析法理论 | 第15-22页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 麦克斯韦方程组及波动方程 | 第15-16页 |
| 2.3 光栅耦合波分析理论 | 第16-21页 |
| 2.3.1 几何模型结构 | 第17-18页 |
| 2.3.2 电磁场表述 | 第18-21页 |
| 2.3.3 光栅方程 | 第21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 粗糙表面反射特性实验分析及数值方法验证 | 第22-32页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 实验分析 | 第22-24页 |
| 3.2.1 实验台简介 | 第22-23页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第23-24页 |
| 3.3 严格耦合波法数值模拟参数收敛性验证 | 第24-29页 |
| 3.3.1 随机粗糙表面长度的验证 | 第25-26页 |
| 3.3.2 划分层数及衍射阶数的验证 | 第26-29页 |
| 3.4 FDTD 验证 RCWA 计算结果 | 第29-31页 |
| 3.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 基于 RCWA 对粗糙表面反射特性研究分析 | 第32-49页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 基准粗糙表面的反射特性 | 第32-45页 |
| 4.2.1 波长对随机粗糙表面反射特性的研究 | 第34-37页 |
| 4.2.2 粗糙表面参数对随机粗糙表面反射特性的研究 | 第37-41页 |
| 4.2.3 氧化膜厚度对粗糙表面反射特性的影响 | 第41-45页 |
| 4.3 分析与讨论 | 第45-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57页 |