| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 前言 | 第12页 |
| 1.2 薄膜制备方法 | 第12-15页 |
| 1.2.1 物理气相沉积（PVD） | 第12-14页 |
| 1.2.2 化学气相沉积（CVD） | 第14-15页 |
| 1.2.3 反应磁控溅射 | 第15页 |
| 1.3 硬质薄膜 | 第15-20页 |
| 1.3.1 氮化物薄膜 | 第17-18页 |
| 1.3.2 类金刚石薄膜（DLC） | 第18-20页 |
| 1.4 DLC薄膜特点、应用前景及存在的问题 | 第20-24页 |
| 1.4.1 DLC薄膜特点 | 第20-21页 |
| 1.4.2 DLC薄膜存在的问题 | 第21-22页 |
| 1.4.3 DLC薄膜应用前景 | 第22-24页 |
| 1.5 薄膜表征方法 | 第24-27页 |
| 1.6 本论文选题依据及创新点 | 第27-29页 |
| 1.6.1 本课题来源 | 第27页 |
| 1.6.2 课题研究内容 | 第27-28页 |
| 1.6.3 课题创新点 | 第28-29页 |
| 第2章 TiAlVN薄膜及性能研究 | 第29-35页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 实验部分 | 第29-30页 |
| 2.2.1 TiAlVN薄膜制备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 TiAlVN薄膜的表征 | 第30页 |
| 2.3 结果及讨论 | 第30-34页 |
| 2.3.1 薄膜成份、生长方式及厚度分析 | 第30-32页 |
| 2.3.2 薄膜的机械性能 | 第32-33页 |
| 2.3.3 电化学腐蚀性能 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 Zr\Ti双掺杂DLC薄膜性能研究 | 第35-44页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 实验部分 | 第36页 |
| 3.2.1 样品制备 | 第36页 |
| 3.2.2 表征方法 | 第36页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第36-43页 |
| 3.3.1 Zr\Ti双金属掺杂DLC薄膜结构元素分析 | 第36-39页 |
| 3.3.2 薄膜硬度分析 | 第39页 |
| 3.3.3 薄膜摩擦学性能分析 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 Zr\Ti双掺杂DLC薄膜的工业化应用研究 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 实验部分 | 第44-45页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第45页 |
| 4.3 结果与分析 | 第45-51页 |
| 4.3.1 薄膜形貌表征 | 第45-46页 |
| 4.3.2 薄膜摩擦磨损测试 | 第46-49页 |
| 4.3.3 DLC薄膜结合力测试 | 第49-51页 |
| 4.4 镀膜高压共轨直喷系统柱塞台架试验 | 第51-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 攻读学位期间所发表的学术论文 | 第66页 |