| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 磁流变液及相关技术研究 | 第11-17页 |
| 1.2.1 磁流变液概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 磁流变减振器的研究与发展 | 第12-14页 |
| 1.2.3 磁流变减振器集成传感器技术研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3 压阻式加速度传感器国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3.1 压阻式加速度传感器概述 | 第17-18页 |
| 1.3.2 压阻式加速度传感器国内外研究情况 | 第18-20页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第20-22页 |
| 2 磁流变减振器集成加速度传感器结构设计及性能仿真 | 第22-48页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 加速度传感器的整体方案设计 | 第22-28页 |
| 2.2.1 磁流变减振器介绍 | 第22-23页 |
| 2.2.2 加速度传感器的设计基础 | 第23-24页 |
| 2.2.3 加速度传感器的设计原则 | 第24-25页 |
| 2.2.4 传感器的整体结构设计 | 第25-28页 |
| 2.3 压阻理论与传感器建模 | 第28-32页 |
| 2.3.1 压阻理论 | 第28-29页 |
| 2.3.2 芯片的建模 | 第29-31页 |
| 2.3.3 传感器的输出计算 | 第31-32页 |
| 2.4 加速度传感器的有限元仿真 | 第32-36页 |
| 2.4.1 芯片的应变、应力的有限元仿真 | 第32-34页 |
| 2.4.2 传感器主要尺寸参数的确定 | 第34-36页 |
| 2.5 加速度传感器芯片的版图设计 | 第36-43页 |
| 2.5.1 压阻系数的合理利用和掺杂浓度的选择 | 第36-39页 |
| 2.5.2 电阻位置排布 | 第39页 |
| 2.5.3 电阻阻值的确定 | 第39-40页 |
| 2.5.4 电阻条尺寸的确定 | 第40页 |
| 2.5.5 电阻条折弯数 | 第40-41页 |
| 2.5.6 阻尼分析与设计 | 第41-43页 |
| 2.6 后端电路设计及仿真 | 第43-47页 |
| 2.6.1 温度补偿电路设计 | 第43-44页 |
| 2.6.2 放大电路设计 | 第44-45页 |
| 2.6.3 后端电路仿真 | 第45-47页 |
| 2.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 3 磁流变减振器集成加速度传感器的制作工艺 | 第48-58页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 加速度传感器芯片的工艺研究 | 第48-52页 |
| 3.2.1 工艺设计 | 第48-52页 |
| 3.3 加速度传感器的封装要求 | 第52-53页 |
| 3.4 贴片胶对芯片的应力影响 | 第53-56页 |
| 3.4.1 杨氏模量E对传感器封装应力影响 | 第54-55页 |
| 3.4.2 热膨胀系数对传感器封装应力影响 | 第55页 |
| 3.4.3 厚度对传感器封装应力影响 | 第55-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 4 磁流变减振器集成压阻式加速度传感器的性能试验与标定 | 第58-76页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 加速度传感器的性能指标 | 第58-59页 |
| 4.2.1 静态性能指标 | 第58-59页 |
| 4.2.2 动态性能指标 | 第59页 |
| 4.3 加速度传感器的静态特性分析 | 第59-67页 |
| 4.3.1 灵敏度 | 第61-62页 |
| 4.3.2 线性度 | 第62-63页 |
| 4.3.3 零点漂移 | 第63-64页 |
| 4.3.4 迟滞 | 第64-65页 |
| 4.3.5 重复性 | 第65页 |
| 4.3.6 热灵敏度漂移 | 第65-67页 |
| 4.3.7 精度 | 第67页 |
| 4.4 加速度传感器的动态特性分析 | 第67-71页 |
| 4.4.1 动态数学模型 | 第67-69页 |
| 4.4.2 传递函数的系数确定 | 第69-70页 |
| 4.4.3 动态特性模拟 | 第70-71页 |
| 4.5 磁流变减振器集成压阻式加速度-温度传感器的理论分析 | 第71-74页 |
| 4.5.1 理论基础 | 第71-73页 |
| 4.5.2 温度模型 | 第73-74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 5 磁流变减振器集成压阻式加速度传感器试验 | 第76-82页 |
| 5.1 引言 | 第76页 |
| 5.2 MTS减振器拉伸试验 | 第76-77页 |
| 5.2.1 试验设备 | 第76页 |
| 5.2.2 试验方法 | 第76-77页 |
| 5.2.3 试验结果及分析 | 第77页 |
| 5.3 单自由度悬架振动试验 | 第77-82页 |
| 5.3.1 试验设备 | 第77-78页 |
| 5.3.2 试验方法 | 第78-79页 |
| 5.3.3 试验结果及分析 | 第79-82页 |
| 6 总结与展望 | 第82-84页 |
| 6.1 全文总结 | 第82-83页 |
| 6.2 工作展望 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 附录 | 第92页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第92页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间申报专利目录 | 第92页 |
| C. 作者在攻读硕士期间参加的科研项目 | 第92页 |
