硅微谐振式加速度计闭环振荡系统稳定性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 硅微谐振式加速度计研究背景概述 | 第10-11页 |
| 1.2 硅微谐振式加速度计国内外研究概述 | 第11-14页 |
| 1.3 硅微谐振式加速度计机电接口模型的研究概况 | 第14-15页 |
| 1.4 硅微谐振式加速度计机测控电路的研究概况 | 第15-17页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第17-18页 |
| 2 硅微谐振式加速度计机电接口建模 | 第18-32页 |
| 2.1 谐振式加速度计工作原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 机械敏感结构的基本原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 静电驱动 | 第19-20页 |
| 2.2 谐振器等效电路分析 | 第20-23页 |
| 2.3 寄生效应的影响 | 第23-27页 |
| 2.4 加速度计接口电路的改进 | 第27-29页 |
| 2.5 基于Cadence的加速度计机电建模 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 闭环振荡电路幅度控制理论的研究 | 第32-45页 |
| 3.1 振幅扰动因素 | 第32页 |
| 3.2 振幅非线性对谐振频率的影响 | 第32-34页 |
| 3.3 控制设计概况 | 第34-35页 |
| 3.4 幅度控制 | 第35-44页 |
| 3.4.1 幅度的传递函数 | 第35-39页 |
| 3.4.2 PI控制器的设计 | 第39-43页 |
| 3.4.3 开环系统的整体设计 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 硅微谐振式加速度计振荡电路的相位噪声研究 | 第45-56页 |
| 4.1 噪声对载波信号的相位干扰 | 第45-48页 |
| 4.2 相位噪声的表征 | 第48-49页 |
| 4.3 线性相位噪声 | 第49-52页 |
| 4.4 非线性相位噪声 | 第52-54页 |
| 4.5 相位噪声性能试验 | 第54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 电路仿真和加速度计整表性能实验 | 第56-68页 |
| 5.1 电路设计与仿真 | 第56-61页 |
| 5.1.1 移相电路的优化 | 第56-58页 |
| 5.1.2 振荡电路与加速度计的联合仿真 | 第58-61页 |
| 5.2 测试设备与仪器 | 第61页 |
| 5.3 硅微谐振式加速度计整表性能测试 | 第61-67页 |
| 5.3.1 标度因数测试 | 第61-64页 |
| 5.3.2 ±1g范围的线性度 | 第64页 |
| 5.3.3 1g稳定性 | 第64-65页 |
| 5.3.4 零偏稳定性 | 第65页 |
| 5.3.5 阈值 | 第65-66页 |
| 5.3.6 测试结果汇总 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
