基于共轭差分法的光学平面面形绝对测量的关键技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第7页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第7-11页 |
| 1.2.1 光学平面面形的绝对检验 | 第7-10页 |
| 1.2.2 差分波面复原 | 第10-11页 |
| 1.3 课题来源 | 第11页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 光学平面的绝对检验 | 第13-22页 |
| 2.1 液面基准法 | 第13-15页 |
| 2.1.1 液面基准法原理 | 第13-14页 |
| 2.1.2 液体材料的选择 | 第14页 |
| 2.1.3 液面基准法特点 | 第14-15页 |
| 2.2 三面互检法 | 第15-17页 |
| 2.2.1 三平晶法 | 第15-16页 |
| 2.2.2 两平晶法 | 第16页 |
| 2.2.3 三面互检法特点 | 第16-17页 |
| 2.3 差分法(伪剪切法) | 第17-20页 |
| 2.3.1 差分法原理 | 第17-19页 |
| 2.3.2 共轭差分法测量锥面镜绝对面形 | 第19-20页 |
| 2.3.3 差分法特点 | 第20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-22页 |
| 3 差分波面复原 | 第22-36页 |
| 3.1 傅里叶变换法 | 第22-29页 |
| 3.2 Zernike多项式拟合法 | 第29-31页 |
| 3.3 路径积分法 | 第31-32页 |
| 3.4 Hudgin结构斜率法 | 第32-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 共轭差分法测量平面绝对面形的原理与仿真 | 第36-52页 |
| 4.1 理论分析 | 第36-37页 |
| 4.2 波面复原仿真研究 | 第37-51页 |
| 4.2.1 基于共轭差分法的差分波面复原法 | 第37-40页 |
| 4.2.2 波面复原仿真 | 第40-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 共轭差分法测量平面绝对面形 | 第52-63页 |
| 5.1 实验装置 | 第52-53页 |
| 5.2 实验 | 第53-55页 |
| 5.3 实验结果 | 第55-61页 |
| 5.4 误差分析 | 第61-62页 |
| 5.4.1 系统误差 | 第61-62页 |
| 5.4.2 随机误差 | 第62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-64页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第63页 |
| 6.2 有待解决的问题及展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 附录 | 第72页 |
