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飞秒激光可控加工大面积均匀化表面微纳结构及其应用

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-27页
    1.1 课题背景第11-15页
        1.1.1 飞秒激光第11页
        1.1.2 飞秒激光微/纳加工第11-15页
    1.2 激光参数与外界环境对材料加工的影响第15-19页
    1.3 激光诱导表面结构的广泛应用第19-24页
    1.4 本课题的研究内容第24-27页
        1.4.1 研究内容第24-25页
        1.4.2 文章简介第25-27页
第二章 飞秒激光作用机理及加工系统第27-33页
    2.1 飞秒激光与物质相互作用机理第27-28页
    2.2 飞秒激光加工实验系统第28-32页
    2.3 本章小结第32-33页
第三章 硅表面镀金辅助飞秒激光加工均匀周期性结构第33-49页
    3.1 镀膜加工思想的来源第33-36页
    3.2 材料与激光参数对激光诱导表面结构的影响第36-44页
        3.2.1 金膜厚度对激光诱导表面结构的影响第36-39页
        3.2.2 激光通量对激光诱导表面结构的影响第39-41页
        3.2.3 硅与镀金硅表面形貌随着脉冲数的演化过程第41-44页
    3.3 飞秒激光加工镀金硅的理论解释第44-47页
    3.4 本章小结第47-49页
第四章 飞秒激光诱导氧化锌产生表面周期性结构第49-75页
    4.1 飞秒激光诱导氧化锌表面产生不同周期分裂现象第49-56页
        4.1.1 激光线扫描加工氧化锌表面产生边缘分裂现象第49-52页
        4.1.2 激光线扫描加工氧化锌表面产生中间分裂现象第52-53页
        4.1.3 对应线扫描下激光加工烧蚀弹坑的形貌变化第53-56页
    4.2 LSFL向HSFL不同形式转化的参数区域与理论解释第56-64页
        4.2.1 边缘/中间分裂现象的扫描速度和能量区域总结第56-57页
        4.2.2 激光诱导氧化锌产生表面周期性结构的机理争议第57-62页
        4.2.3 激光诱导氧化锌表面产生中间/边缘分裂现象的机理解释第62-64页
    4.3 飞秒激光加工镀金氧化锌与氧化锌的对比第64-66页
    4.4 氧化锌表面周期性结构的产生与消除第66-69页
    4.5 激光诱导氧化锌大面积周期性结构的应用第69-74页
    4.6 本章小结第74-75页
第五章 飞秒激光在金属表面加工微纳结构及其应用第75-85页
    5.1 飞秒激光诱导锌表面微纳结构及其光学特性第75-77页
    5.2 飞秒激光诱导钛/镍表面微纳结构的加工第77-81页
    5.3 钛/镍表面结构的光学特性及浸润特性第81-84页
    5.4 本章小结第84-85页
结论第85-87页
参考文献第87-95页
攻读学位期间发表的论文与研究成果清单第95-97页
致谢第97页

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