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多种微纳米结构衍射光栅的分束性能研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
第一章 绪论第16-27页
    1.1 前言第16页
    1.2 微纳结构的平面波导光栅简述第16-19页
        1.2.1 微纳光栅的制作工艺第16-17页
        1.2.2 微纳光栅数值与理论设计方法第17-18页
        1.2.3 微纳光栅的多种分束性能实质及分类第18-19页
    1.3 微纳结构分束型衍射光栅的应用第19-20页
    1.4 微纳结构分束式光栅的研究现状第20-25页
        1.4.1 单通道分束式光栅的研究现状第20-21页
        1.4.2 双通道分束式光栅的研究现状第21-23页
        1.4.3 三通道分束式光栅的研究现状第23-24页
        1.4.4 偏振光束分束器光栅的研究现状第24-25页
    1.5 本研究课题的来源与主要内容第25-27页
第二章 本研究课题的技术路线第27-42页
    2.1 前言第27页
    2.2 数值优化设计之严格耦合波分析法第27-33页
        2.2.1 耦合波理论在TE偏 振光入射下的数值分析第28-31页
        2.2.2 耦合波理论在TM偏 振光入射下的数值分析第31-33页
    2.3 理论上的物理解释之模态法第33-41页
        2.3.1 模态法在TE偏 振光入射下的物理解释第33-38页
        2.3.2 模态法在TM偏 振光入射下的物理解释第38-41页
    2.4 小结第41-42页
第三章 偏振无关单通道分束型微纳光栅第42-51页
    3.1 前言第42页
    3.2 三层透射式矩形凹槽表面浮雕式单通道分束型光栅第42-46页
        3.2.1 模态理论与严格数值模拟下的光栅优化第42-45页
        3.2.2 入射性能分析第45-46页
    3.3 单层透射式带连接层三明治式单通道分束型光栅第46-49页
        3.3.1 严格数值模拟下的光栅优化第46-47页
        3.3.2 物理机制下的理论解释第47-48页
        3.3.3 数值优化结果与理论结果的比较第48-49页
        3.3.4 入射角度带宽的分析与研究第49页
    3.4 小结第49-51页
第四章 偏振无关单层透射式带连接层三明治式双通道分束型光栅第51-56页
    4.1 前言第51页
    4.2 光栅参数的设计与预测第51-53页
    4.3 光栅参数的确定第53-54页
    4.4 理论与模拟的比较第54-55页
    4.5 衍射性能的研究第55页
    4.6 小结第55-56页
第五章 偏振无关单层反射式带连接层三明治式偏振分束光栅第56-63页
    5.1 前言第56页
    5.2 光栅参量的理论设计第56-57页
    5.3 寻求最优化的光栅参量第57-58页
    5.4 刻蚀误差的讨论与入射性能分析第58-62页
    5.5 小结第62-63页
第六章 偏振无关三通道分束型微纳光栅第63-74页
    6.1 前言第63页
    6.2 单层透射式带连接层三明治式三通道分束型光栅第63-68页
        6.2.1 光栅数值上的优化设计第63-65页
        6.2.2 光栅理论上的物理模态解释第65-66页
        6.2.3 制作误差与入射宽光谱带的讨论第66-68页
    6.3 双层反射式三明治式三通道分束型光栅第68-70页
        6.3.1 优化分析与设计第68-69页
        6.3.2 入射宽角带与光谱带的讨论第69-70页
    6.4 单层反射式带连接层表面浮雕式三通道分束型光栅第70-73页
        6.4.1 光栅数值设计第70-72页
        6.4.2 衍射性能分析第72-73页
    6.5 小结第73-74页
第七章 偏振相关三通道分束型微纳光栅第74-91页
    7.1 前言第74页
    7.2 单层透射式三明治式三通道分束型光栅第74-78页
        7.2.1 三明治光栅的优化第74-76页
        7.2.2 基于优化结果的理论解释第76-77页
        7.2.3 偏振相关性能下的入射光谱研究第77-78页
    7.3 单层反射式表面浮雕式三通道分束型光栅第78-83页
        7.3.1 偏振相关反射光栅的优化第78-80页
        7.3.2 光栅区域的耦合研究第80-81页
        7.3.3 反射型光栅的制作容忍度与带宽第81-83页
    7.4 单层透射式带连接层表面浮雕式三通道分束型光栅第83-87页
        7.4.1 模拟优化光栅参量第83-85页
        7.4.2 光栅区域的耦合分析与研究第85-86页
        7.4.3 入射谱宽与角宽的研究第86-87页
    7.5 单层反射式带连接层表面浮雕式三通道分束型光栅第87-90页
        7.5.1 光栅参量的精确模拟分析第87-89页
        7.5.2 入射波长与角度的研究第89-90页
    7.6 小结第90-91页
结论第91-93页
参考文献第93-102页
攻读硕士学位期间发表的论文第102-106页
致谢第106页

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