| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 缓蚀剂简介 | 第9-12页 |
| 1.2.1 缓蚀剂定义 | 第9页 |
| 1.2.2 缓蚀剂的分类 | 第9-10页 |
| 1.2.3 缓蚀剂的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 协同效应的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.1 缓蚀剂协同效应的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 分子模拟技术在协同领域的研究 | 第13-14页 |
| 1.4 研究对象及研究内容 | 第14-16页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第14-15页 |
| 1.4.2 研究对象 | 第15页 |
| 1.4.3 研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 基础理论与实验方法 | 第16-20页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 实验部分 | 第16-18页 |
| 2.2.1 实验仪器 | 第16页 |
| 2.2.2 实验方法 | 第16-18页 |
| 2.3 模拟部分 | 第18-20页 |
| 2.3.1 分子动力学模拟方法 | 第18页 |
| 2.3.2 模拟软件 | 第18-20页 |
| 第三章 2-MBI与SDBS协同缓蚀作用的实验研究 | 第20-38页 |
| 3.1 引言 | 第20页 |
| 3.2 单一缓蚀剂缓蚀性能测试 | 第20-32页 |
| 3.2.1 极化曲线法 | 第20-23页 |
| 3.2.2 交流阻抗谱法 | 第23-28页 |
| 3.2.3 失重法测试 | 第28-32页 |
| 3.2.4 小结 | 第32页 |
| 3.3 2-MBI与SDBS混合作用缓蚀性能测试 | 第32-37页 |
| 3.3.1 极化曲线法 | 第32-34页 |
| 3.3.2 交流阻抗法 | 第34-35页 |
| 3.3.3 失重法 | 第35-37页 |
| 3.3.4 小结 | 第37页 |
| 3.4 本章结论 | 第37-38页 |
| 第四章 2-MBI与SDBS协同缓蚀机理的分子动力学模拟研究 | 第38-60页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 模型构建与模拟细节 | 第38-40页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第40-59页 |
| 4.3.1 2-MBI单独吸附 | 第40-48页 |
| 4.3.2 SDBS单独吸附 | 第48-50页 |
| 4.3.3 2-MBI与SDBS协同吸附 | 第50-59页 |
| 4.4 本章结论 | 第59-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 攻读硕士期间取得的学术成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |