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玻璃微结构电解电火花加工关键技术研究

摘要第11-13页
Abstract第13-14页
第1章 绪论第15-27页
    1.1 研究背景及意义第15-17页
    1.2 电解电火花加工国内外研究现状第17-24页
        1.2.1 电解电火花加工国外研究现状第18-21页
        1.2.2 电解电火花加工国内研究现状第21-24页
    1.3 课题来源及研究目标第24-25页
        1.3.1 课题来源第24页
        1.3.2 课题研究目标第24-25页
    1.4 本文主要研究内容第25-27页
第2章 电解电火花加工机理及试验平台的搭建第27-43页
    2.1 电解电火花加工原理第27-29页
    2.2 气膜形成机理第29-32页
        2.2.1 气泡的形成第29-30页
        2.2.2 气膜的形成第30-32页
    2.3 材料去除机理第32-35页
        2.3.1 放电热去除第32-34页
        2.3.2 化学反应去除第34-35页
    2.4 试验平台的搭建第35-42页
        2.4.1 微细电解电火花加工系统的要求第35-36页
        2.4.2 电源系统第36-38页
        2.4.3 机床机械系统第38页
        2.4.4 微电极系统第38-40页
        2.4.5 加工控制及监测系统第40-42页
    2.5 本章小结第42-43页
第3章 微细电解电火花钻铣削加工试验分析第43-61页
    3.1 电解电火花钻铣削模型及流场分析第43-48页
        3.1.1 微细电解电火花钻铣削加工模型第43-46页
        3.1.2 微细电解电火花钻削加工流场分析第46-47页
        3.1.3 微细电解电火花铣削加工流场分析第47-48页
    3.2 微细电解电火花钻孔试验及分析第48-51页
        3.2.1 加工电压对侧面间隙的影响第48-50页
        3.2.2 脉冲频率对侧面间隙的影响第50页
        3.2.3 占空比对侧面间隙的影响第50页
        3.2.4 进给速度对侧面间隙的影响第50-51页
        3.2.5 微孔阵列及高深宽比微孔的加工第51页
    3.3 超声辅助对钻孔加工效果的影响第51-54页
    3.4 微细电解电火花铣削试验及分析第54-59页
        3.4.1 加工电压对侧面间隙的影响第55页
        3.4.2 脉冲频率对侧面间隙的影响第55-56页
        3.4.3 占空比对侧面间隙的影响第56页
        3.4.4 进给速度对侧面间隙的影响第56-58页
        3.4.5 复杂玻璃微结构的加工第58-59页
    3.5 本章小结第59-61页
第4章 微细电解电火花切割加工试验分析第61-75页
    4.1 旋转电极电解电火花切割方法第61-63页
    4.2 微细电解电火花切割加工模型及流场分析第63-64页
        4.2.1 切割加工模型第63页
        4.2.2 切割加工间隙流场分析第63-64页
    4.3 微细电解电火花切割加工试验及分析第64-71页
        4.3.1 加工电压对侧面间隙的影响第65-66页
        4.3.2 脉冲频率对侧面间隙的影响第66-67页
        4.3.3 占空比对侧面间隙的影响第67-68页
        4.3.4 主轴转速对侧面间隙的影响第68-69页
        4.3.5 进给速度对侧面间隙的影响第69-70页
        4.3.6 电解液浓度对侧面间隙的影响第70-71页
    4.4 典型玻璃微结构的切割加工试验第71-74页
        4.4.1 微缝阵列及封闭微结构第71-72页
        4.4.2 高深宽比玻璃微结构第72-74页
    4.5 本章小结第74-75页
第5章 总结与展望第75-77页
    5.1 本文总结第75-76页
    5.2 展望第76-77页
参考文献第77-89页
致谢第89-91页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文和发明专利第91-92页
学位论文评阅及答辩情况表第92页

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