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微电沉积空间内真空沸腾气泡动力学行为特性研究

致谢第1-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-11页
1 绪论第11-25页
   ·电沉积工艺原理与应用第11页
   ·电解液真空沸腾电沉积技术第11-14页
   ·微细电铸技术研究现状第14-17页
   ·真空沸腾微细电沉积初步试验第17-20页
   ·沸腾气泡动力学行为特性第20-22页
     ·气泡脱离加热面时的直径第20-21页
     ·气泡生成(脱离)频率和汽化成核密度第21-22页
     ·孔口气泡的形成第22页
   ·微空间内气泡行为及气液两相流动特性研究现状第22-24页
   ·本文研究内容与创新点第24-25页
     ·研究内容第24页
     ·创新点第24-25页
2 沸腾气泡动力学基础理论第25-37页
   ·核化机理和气泡形成第25-30页
     ·均匀核化第25-27页
     ·非均匀核化第27-30页
   ·典型气泡生长循环第30-31页
   ·气泡增长过程第31-32页
   ·沸腾传热第32页
   ·气液两相流第32-36页
     ·基本概念第32-33页
     ·气液两相平衡第33-34页
     ·流型第34-36页
   ·本章小结第36-37页
3 电沉积微孔内真空沸腾气泡动力学行为特性分析第37-65页
   ·引言第37页
   ·试验装置及条件第37-39页
     ·试验装置第37-39页
     ·试验条件第39页
   ·气泡动力学行为第39-53页
     ·气泡生长及脱离第39-42页
     ·气泡脱离直径第42-46页
     ·气泡生成频率第46-50页
     ·微孔内多气泡动力学行为及聚并特性第50-53页
   ·微孔内气液两相流型演变规律第53-57页
   ·微孔逸出气泡的动力学行为及交互作用第57-60页
     ·单孔逸出气泡行为第57-58页
     ·并联多孔逸出气泡行为及交互作用第58-60页
   ·微孔孔口气泡脱离后的回液现象分析第60-61页
     ·气泡脱离后的回液过程第60-61页
     ·回液过程的影响因素第61页
   ·本章小结第61-65页
4 电沉积微槽内真空沸腾气泡动力学行为特性分析第65-79页
   ·引言第65页
   ·试验条件及装置第65-66页
     ·试验装置第65页
     ·试验条件第65-66页
   ·气泡动力学行为第66-74页
     ·气泡生长及脱离第66-68页
     ·气泡脱离直径第68-71页
     ·气泡脱离频率第71-72页
     ·微槽内多气泡动力学行为及聚并特性第72-74页
   ·微槽内气液两相流型特征第74-76页
   ·微槽槽口气泡脱离后的回液现象分析第76-77页
   ·本章小结第77-79页
5 总结与展望第79-83页
   ·总结第79-80页
   ·展望第80-83页
参考文献第83-91页
作者简历第91-93页
学位论文数据集第93页

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