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微互连焊点Cu-Sn金属间化合物晶粒取向及各向异性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第1章 绪论第10-21页
   ·课题背景及研究目的第10-11页
   ·国内外的研究现状第11-19页
     ·Cu-Sn金属间化合物的晶体结构研究第11页
     ·多晶铜和单晶铜界面Cu_6Sn_5晶粒的形貌和取向研究第11-14页
     ·焊点界面IMCs生长动力学研究第14-15页
     ·焊点界面IMCs表面纳米Ag_3Sn颗粒的研究第15页
     ·微小焊点力学行为研究第15-19页
   ·本文的主要研究内容第19-21页
第2章 材料及实验方法第21-28页
   ·实验过程概述第21页
   ·实验材料和设备第21-22页
     ·实验材料第21-22页
     ·实验设备第22页
   ·试样制备及实验方法第22-25页
     ·钎焊及老化第22-23页
     ·SEM形貌观察试样制备第23页
     ·EBSD试样制备及测试第23-24页
     ·纳米压痕测试第24-25页
   ·晶体取向测试及分析原理第25-27页
     ·EBSD技术的工作原理第25页
     ·晶体取向坐标的建立第25-26页
     ·晶体取向图像表示原理第26-27页
   ·本章小结第27-28页
第3章 SAC/Cu界面IMCs形貌及生长动力学研究第28-48页
   ·SAC/Cu界面IMCs形貌观察第28-35页
     ·重熔温度对界面IMCs形貌的影响第28-30页
     ·重熔时间对界面IMCs形貌的影响第30-32页
     ·冷却速度对界面IMCs形貌的影响第32-33页
     ·等温老化对界面IMCs形貌的影响第33-35页
   ·界面IMCs厚度计算及生长动力学研究第35-43页
     ·Cu-Sn系统固-液反应过程及界面IMCs生长动力学第35-41页
     ·Cu-Sn系统固态反应过程及界面IMCs生长动力学第41-43页
   ·界面Cu_6Sn_5表面纳米Ag_3Sn颗粒的吸附现第43-47页
     ·纳米Ag_3Sn颗粒形貌及影响因素第43-45页
     ·纳米Ag_3Sn颗粒的形成机制第45-47页
   ·本章小结第47-48页
第4章 SAC/Cu界面Cu_6Sn_5的取向分析第48-71页
   ·SAC/多晶Cu界面Cu_6Sn_5取向分析第48-52页
     ·多晶铜上250℃扇贝状Cu_6Sn_5取向分析第48-50页
     ·多晶铜上300℃不规则棱柱状Cu_6Sn_5取向分析第50页
     ·多晶铜上不同形态Cu_6Sn_5晶粒的取向差角分析第50-52页
   ·SAC/单晶Cu界面Cu_6Sn_5取向分析第52-69页
     ·(001)和(111)单晶铜取向确认分析第53-54页
     ·单晶铜上250℃扇贝状Cu_6Sn_5取向分析第54-56页
     ·单晶铜上300℃规则棱柱状Cu_6Sn_5取向分析第56-62页
     ·单晶铜界面Cu_6Sn_5晶粒取向差角分析第62-65页
     ·老化对单晶铜上规则棱柱状Cu_6Sn_5取向的影响第65-66页
     ·单晶铜界面Cu_6Sn_5晶粒取向结果讨论第66-69页
   ·本章小结第69-71页
第5章 Cu_6Sn_5晶体的性能各向异性研究第71-83页
   ·Cu_6Sn_5晶粒形貌与取向的关系第71-72页
   ·Cu_6Sn_5中空结构的形成机理第72-75页
   ·Cu_6Sn_5晶体弹性各向异性研究第75-79页
   ·Cu_6Sn_5晶体塑性各向异性研究第79-82页
     ·施密特(Schmid)定律第79-80页
     ·界面Cu_6Sn_5晶粒的Schmid因子分布与计算第80-82页
   ·本章小结第82-83页
结论第83-84页
参考文献第84-89页
攻读学位期间发表的学术论文第89-91页
致谢第91页

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