| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| ·研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-20页 |
| ·压电陶瓷驱动电源研究现状 | 第13-16页 |
| ·压带陶瓷建模及控制技术研究现状 | 第16-18页 |
| ·两维偏摆台及其驱动系统主要产品 | 第18-20页 |
| ·预期目标及课题研究内容 | 第20-22页 |
| ·预期目标 | 第20-21页 |
| ·论文的内容安排 | 第21-22页 |
| 第2章 压电陶瓷特性与两维偏摆镜结构 | 第22-30页 |
| ·压电陶瓷特性 | 第22-25页 |
| ·压电效应 | 第22-23页 |
| ·迟滞特性 | 第23页 |
| ·蠕变特性 | 第23-24页 |
| ·温度特性 | 第24-25页 |
| ·两维偏摆镜结构 | 第25-29页 |
| ·单个压电陶瓷驱动器结构 | 第25-27页 |
| ·两维偏摆镜结构 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 驱动系统硬件电路设计与性能测试 | 第30-54页 |
| ·驱动系统硬件电路设计总体框架 | 第30页 |
| ·控制模块硬件电路设计 | 第30-41页 |
| ·DSP硬件电路设计 | 第31-35页 |
| ·FPGA硬件电路设计 | 第35-38页 |
| ·D/A硬件电路设计 | 第38-39页 |
| ·A/D硬件电路设计 | 第39-41页 |
| ·驱动电源模块硬件电路设计 | 第41-45页 |
| ·驱动电源模块原理及需求分析 | 第41-43页 |
| ·驱动电源模块放大电路的设计 | 第43-45页 |
| ·检测回路模块硬件电路设计 | 第45-47页 |
| ·驱动系统硬件电路性能测试 | 第47-51页 |
| ·驱动系统硬件电路实物图 | 第47-48页 |
| ·驱动电源电压输出范围及线性度测试 | 第48-50页 |
| ·驱动电源输出稳定性测试 | 第50页 |
| ·驱动电源对正弦信号的响应 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-54页 |
| 第4章 两维偏摆镜驱动系统的建模及控制算法设计 | 第54-76页 |
| ·引言 | 第54-56页 |
| ·基于PI迟滞模型建模 | 第56-69页 |
| ·经典PI迟滞模型 | 第56-59页 |
| ·经典PI迟滞模型参数辨识 | 第59-61页 |
| ·改进非对称PI迟滞模型 | 第61-62页 |
| ·改进非对称PI迟滞模型的参数辨识 | 第62-64页 |
| ·经典PI迟滞模型与改进非对称PI迟滞模型拟合精度对比 | 第64-69页 |
| ·基于迟滞模型的复合控制方案 | 第69-71页 |
| ·基于改进非对称PI迟滞模型的前馈控制方案设计 | 第69-70页 |
| ·前馈与反馈控制器复合的闭环控制方案设计 | 第70-71页 |
| ·跟踪控制实验 | 第71-74页 |
| ·仅使用前馈的开环控制跟踪精度 | 第71-72页 |
| ·前馈与反馈控制器复合的闭环控制跟踪精度 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·工作总结 | 第76页 |
| ·研究展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第81-82页 |
| 指导教师及作者简介 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |