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入射能量对Au/Au(111)和Cu/Si(001)纳米薄膜生长初期影响的分子动力学模拟

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-16页
   ·纳米薄膜材料简介第9-10页
   ·薄膜生长研究的介绍第10-12页
   ·低能沉积薄膜的分子动力学模拟研究现状第12-15页
   ·本文的组织结构第15页
   ·本文的研究目的及主要工作第15-16页
第2章 分子动力学模拟方法的介绍第16-25页
   ·引言第16页
   ·分子动力学模拟的基本思想第16-17页
   ·分子动力学的基本算法第17-18页
   ·经典分子动力学的近似处理第18页
   ·基体模型的近似处理第18-19页
   ·分子动力学的系综第19页
   ·原子间相互作用势介绍第19-21页
     ·对势第20页
     ·多体势及 EAM 原子间相互作用势第20-21页
   ·分子动力学计算流程第21-22页
   ·分子动力学模拟软件介绍第22-25页
第3章 Au/Au(111)薄膜生长的分子动力学模拟第25-40页
   ·引言第25页
   ·物理模型和计算方法第25-26页
   ·模拟结果与讨论第26-35页
     ·原子结构图的分析第26-29页
     ·入射能量对粗糙度和层覆盖率的影响第29-31页
     ·入射能量对薄膜质量影响的物理机制第31-35页
   ·薄膜生长过程的分析第35-38页
   ·本章小结第38-40页
第4章 Cu/Si(001)薄膜生长的分子动力学模拟第40-59页
   ·引言第40页
   ·物理模型的构建第40-42页
     ·多体势函数的选取第40-41页
     ·Si 基体模型的构建第41-42页
   ·沉积过程第42-44页
   ·沉积过程的模拟结果及分析第44-57页
     ·对薄膜的生长过程的影响第44-50页
     ·入射能量对薄膜表面粗糙度及覆盖率的影响第50-52页
     ·入射能量对薄膜生长的影响第52-57页
   ·本章小结第57-59页
第5章 全文总结及展望第59-62页
   ·本文主要研究工作第59-60页
   ·本文主要创新点第60页
   ·本课题存在的问题及今后研究的设想第60-62页
参考文献第62-67页
攻读硕士学位期间发表的论文和参加科研情况说明第67-68页
致谢第68-69页

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