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环保型化学镀铜工艺研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第1章 绪论第11-16页
   ·引言第11页
   ·化学镀铜的研究现状及发展趋势第11-15页
     ·化学镀铜的基本原理第12页
     ·化学镀铜的研究现状及发展趋势第12-14页
     ·乙醛酸化学镀铜的研究现状及发展趋势第14-15页
   ·课题研究的目的、意义及主要内容第15-16页
第2章 实验及检测方法第16-22页
   ·实验材料、试剂及仪器第16页
   ·化学镀铜实验的基本工艺流程第16-19页
   ·镀层结构及性能测试方法第19-21页
     ·镀层沉积速度的测定第19-20页
     ·镀层导电性的测定第20页
     ·镀层结合力的测定第20页
     ·镀层的结构与组成测试第20-21页
   ·镀液电化学性能测试第21-22页
第3章 以乙醛酸为还原剂化学镀铜工艺优化研究第22-48页
   ·以乙醛酸为还原剂化学镀铜体系基础溶液优化第22-25页
     ·络合剂的选择与优化第22-24页
     ·乙醛酸用量的优化第24-25页
   ·添加剂对乙醛酸化学镀铜的作用和影响研究第25-32页
     ·添加剂对乙醛酸化学镀铜的影响第25-31页
     ·化学镀铜复合添加剂的优化研究第31-32页
   ·工艺条件对化学镀铜的影响第32-34页
     ·温度对化学镀铜的影响第32-33页
     ·pH值对化学镀铜的影响第33-34页
   ·以乙醛酸为还原剂的化学镀铜溶液维护第34-43页
     ·镀液中CuS04及乙醛酸含量的测定方法第35-38页
     ·物料消耗规律第38-39页
     ·补加实验第39-43页
   ·应用第43-46页
   ·本章小结第46-48页
第4章 镀液成分及工艺条件对电极过程及镀层形貌和结构的影响第48-64页
   ·基础镀液中乙醛酸及络合剂对电极过程的影响第48-49页
   ·添加剂对电极过程及镀层形貌和结构的影响第49-56页
     ·2,2'-联吡啶对电极过程及镀层形貌和结构的影响第50-52页
     ·亚铁氰化钾对电极过程及镀层形貌和结构的影响第52-54页
     ·聚乙二醇对电极过程及镀层形貌和结构的影响第54-56页
   ·工艺条件对电极过程及镀层形貌和结构的影响第56-60页
     ·温度对电极过程及镀层形貌和结构的影响第56-58页
     ·pH值对电极过程及镀层形貌和结构的影响第58-60页
   ·电磁场对镀层形貌和结构的影响第60-63页
   ·本章小结第63-64页
第5章 结论第64-66页
参考文献第66-70页
后记第70-71页
攻读硕士学位期间论文发表及科研情况第71页

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