| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 图清单 | 第13-22页 |
| 第一章 绪论 | 第22-37页 |
| ·引言 | 第22-23页 |
| ·超声电机控制技术概述 | 第23-25页 |
| ·运动平台发展概述 | 第25-33页 |
| ·精密微动台 | 第25-27页 |
| ·宏微结合大行程精密运动平台 | 第27-30页 |
| ·直接驱动大行程精密运动平台 | 第30-33页 |
| ·超声电机驱动的精密运动平台领域亟需解决的问题 | 第33-35页 |
| ·课题来源及本文研究内容 | 第35-37页 |
| 第二章 行波型旋转超声电机单周速度波动率及瞬态特性 | 第37-55页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·行波型旋转超声电机单周速度波动率分析 | 第38-44页 |
| ·行波型旋转超声电机（TRUM–60）的装配误差 | 第38-40页 |
| ·接触界面压力分析 | 第40-43页 |
| ·接触压力 Ansys 分析 | 第43-44页 |
| ·行波型旋转超声电机结构改进方案 | 第44-46页 |
| ·问题分析 | 第44-45页 |
| ·改进设计 | 第45-46页 |
| ·行波型旋转电机单周速度波动率实验 | 第46-48页 |
| ·力矩速度实验 | 第46页 |
| ·单周速度波动率实验 | 第46-48页 |
| ·行波型旋转超声电机最小响应脉宽 | 第48-50页 |
| ·UMD-2 型驱动器的改进 | 第48-50页 |
| ·最小响应脉宽实验及结果 | 第50页 |
| ·行波型旋转超声电机定位特性 | 第50-54页 |
| ·行波型旋转超声电机定位特性实验系统 | 第51页 |
| ·测试方法 | 第51-52页 |
| ·实验结果及分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 行波型旋转超声电机驱动的二维运动平台 | 第55-67页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·行波型旋转超声电机驱动的丝杠运动平台设计 | 第55-57页 |
| ·运动平台传动丝杠的选型 | 第55-56页 |
| ·导向装置的选择 | 第56页 |
| ·二维运动平台 | 第56-57页 |
| ·行波型旋转超声电机驱动的丝杠运动平台运动误差测试 | 第57-60页 |
| ·丝杠平台螺距不均匀误差测试 | 第57-59页 |
| ·丝杠运动平台回程误差测试 | 第59-60页 |
| ·丝杠运动平台回程误差测试结果分析 | 第60页 |
| ·行波型旋转超声电机驱动的丝杠运动平台控制系统 | 第60-65页 |
| ·GT-400 运动控制卡简介 | 第61页 |
| ·基于 GT-400 运动控制卡精密丝杠平台伺服控制系统 | 第61-62页 |
| ·伺服控制系统软件设计 | 第62-64页 |
| ·实验结果及分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 具有高硬度材料摩擦副的直线超声电机接触匹配问题 | 第67-77页 |
| ·引言 | 第67-68页 |
| ·高硬度摩擦副直线超声电机接触实验及分析 | 第68-71页 |
| ·实验系统及原理 | 第68-69页 |
| ·定子、动子及定子支撑振动测试实验 | 第69-71页 |
| ·法向接触模型及分析 | 第71-74页 |
| ·高硬度摩擦副直线超声电机示意图 | 第71-72页 |
| ·高硬度摩擦副直线超声电机法向（y 方向）接触模型 | 第72-74页 |
| ·参数匹配实验 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 大推力直线超声电机驱动单元的一种实现方法 | 第77-89页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·直线超声电机异步并联的概念 | 第78-79页 |
| ·直线超声电机异步并联时的性能分析 | 第79-83页 |
| ·直线超声电机工作原理 | 第79-80页 |
| ·两个直线超声电机异步并联 | 第80-82页 |
| ·三个直线超声电机异步并联 | 第82-83页 |
| ·单足 V 形直线超声电机并联机械特性 | 第83页 |
| ·双足蝶形直线超声电机并联机械特性 | 第83-87页 |
| ·最大负载力测试 | 第84-85页 |
| ·速度特性 | 第85-87页 |
| ·直线超声电机的异步并联效果分析 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 直线超声电机驱动的运动平台的位移分辨率 | 第89-106页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·位移分辨率与负载能力的概念 | 第89-90页 |
| ·位移分辨率的理论推导 | 第90-92页 |
| ·直线超声电机及其并联时的瞬态特性研究 | 第92-95页 |
| ·单足 V 形直线超声电机及其并联时的瞬态特性 | 第92-94页 |
| ·双足蝶形直线超声电机及其并联时的瞬态特性Ⅰ | 第94-95页 |
| ·双足蝶形直线超声电机驱动的平台的瞬态特性Ⅱ | 第95页 |
| ·影响直线超声电机驱动的运动平台的位移分辨率的因素 | 第95-102页 |
| ·不同的信号波形对运动平台微步距的影响 | 第98-100页 |
| ·频率固定信号的周期个数对步距的影响 | 第100-101页 |
| ·周期个数固定信号的频率与步距的关系 | 第101页 |
| ·预压力对步距的影响 | 第101-102页 |
| ·加在定子上的驱动电压对步距的影响 | 第102页 |
| ·驱动信号相位对步距的影响 | 第102页 |
| ·位移分辨率实验 | 第102-104页 |
| ·本章小结 | 第104-106页 |
| 第七章 直线超声电机驱动的二维精密运动平台 | 第106-136页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·直线超声电机驱动的平台建模 | 第106-109页 |
| ·平台驱动部分建模 | 第107-108页 |
| ·平台运动部分建模 | 第108-109页 |
| ·运动平台驱动控制系统设计 | 第109-114页 |
| ·基于 MSP430 的控制器 | 第109-111页 |
| ·基于 DSP 的控制器 | 第111-112页 |
| ·基于 GT-400 的控制系统 | 第112-113页 |
| ·各种控制器的比较 | 第113-114页 |
| ·运动平台各种控制算法比较 | 第114-122页 |
| ·经典 PID 控制 | 第114-115页 |
| ·改进 PID 控制 | 第115-117页 |
| ·模糊控制 | 第117页 |
| ·误差反传神经网络(BP)PID 控制 | 第117-121页 |
| ·RBF 神经网络控制 | 第121-122页 |
| ·Matlab 控制仿真 | 第122-129页 |
| ·经典 PID 控制仿真 | 第122-125页 |
| ·模糊与 PID 位置控制 Matlab 仿真 | 第125-129页 |
| ·二维运动平台控制实验 | 第129-134页 |
| ·平台速度控制 | 第129-131页 |
| ·控制实验 | 第131-134页 |
| ·本章小结 | 第134-136页 |
| 第八章 总结与展望 | 第136-139页 |
| ·本文主要工作和创新点 | 第136-138页 |
| ·进一步研究方向 | 第138-139页 |
| 参考文献 | 第139-148页 |
| 致谢 | 第148-149页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第149-150页 |
