| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·太阳能电池概述 | 第12-15页 |
| ·太阳能电池的研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·太阳能电池的基本结构及光电转换原理 | 第13-14页 |
| ·太阳能电池的光电材料及发展 | 第14-15页 |
| ·薄膜太阳能电池及其种类简介 | 第15-18页 |
| ·论文选题依据及主要内容 | 第18-20页 |
| ·选题依据 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 样品的制备及分析方法 | 第20-26页 |
| ·实验试剂 | 第20页 |
| ·实验仪器 | 第20-21页 |
| ·制备方法 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射法 | 第21-22页 |
| ·固态源硫硒化法 | 第22页 |
| ·激光脉冲溅射法 | 第22页 |
| ·真空蒸发法 | 第22-23页 |
| ·电沉积法 | 第23页 |
| ·样品表征方法 | 第23-26页 |
| ·物相结构测试 | 第23页 |
| ·薄膜成分测试 | 第23-24页 |
| ·光学性能测试 | 第24页 |
| ·表面形貌测试 | 第24页 |
| ·四探针电阻测试 | 第24-26页 |
| 第三章 薄膜太阳电池吸收层材料Cu(In,Al)(S,Se)_2的制备工艺与性能研究 | 第26-39页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·Cu(In,Al)(S,Se)_2薄膜吸收层的制备 | 第27-29页 |
| ·制备工艺流程 | 第27页 |
| ·衬底的清洗 | 第27-28页 |
| ·CIASSe薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·CIA预制膜的制备 | 第29页 |
| ·实验结果与讨论 | 第29-38页 |
| ·单靶溅射CIA靶材制备CIASSe的研究 | 第29-31页 |
| ·双靶(CIA靶、Al靶)共溅射制备CIASSe的研究 | 第31-34页 |
| ·三靶(CIA靶、Al靶、Cu靶)共溅射制备CIASSe的研究 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 吸收层Cu(In,Al)(S,Se)_2薄膜的性能研究 | 第39-49页 |
| ·CIASSe薄膜的物相结构分析 | 第39-42页 |
| ·CIASSe薄膜的成分分析 | 第42-45页 |
| ·CIASSe薄膜的表面形貌分析 | 第45-46页 |
| ·CIASSe薄膜的光学性能分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 结论与展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第55页 |
