| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1．绪论 | 第10-19页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·矢量水听器国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·仿生学与 MEMS 技术在传感器设计上的应用 | 第15-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 2．MEMS 仿生三轴向压阻矢量水听器的理论基础 | 第19-28页 |
| ·水听器仿生机理简介 | 第19-20页 |
| ·仿生 MEMS 矢量水听器拾振原理分析 | 第20-24页 |
| ·流体的声学特性 | 第20-21页 |
| ·刚性柱体的散射声场 | 第21-22页 |
| ·仿生结构水下声矢量信号的获取 | 第22-24页 |
| ·MEMS 半导体压阻效应敏感机理分析 | 第24-26页 |
| ·矢量水听器的性能参数 | 第26-27页 |
| ·指向性 | 第26-27页 |
| ·通道灵敏度 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3．MEMS 仿生三轴向压阻矢量水听器的基础结构设计与仿真分析 | 第28-50页 |
| ·水听器 MEMS 基础结构的设计 | 第28-29页 |
| ·水听器 MEMS 基础结构的力学建模与分析 | 第29-31页 |
| ·矢量水听器 MEMS 基础结构的有限元建模与仿真 | 第31-49页 |
| ·有限元建模 | 第32-33页 |
| ·水听器 MEMS 基础结构的优化设计 | 第33-43页 |
| ·水听器 MEMS 基础结构的静态特性分析 | 第43-46页 |
| ·水听器 MEMS 基础结构的动态特性分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4．MEMS 仿生三轴向压阻矢量水听器微结构的加工与信号提取电路设计 | 第50-68页 |
| ·水听器 MEMS 芯片的加工制作 | 第50-62页 |
| ·压阻的设计与连接 | 第50-53页 |
| ·MEMS 微结构的加工工艺流程设计 | 第53-56页 |
| ·加工掩膜版图的设计 | 第56-61页 |
| ·三维 MEMS 微结构的芯片级封装 | 第61-62页 |
| ·垂直纤毛与 MEMS 微结构的二次集成 | 第62-63页 |
| ·信号提取电路的设计 | 第63-67页 |
| ·电源模块 | 第64页 |
| ·电压放大与滤波模块 | 第64-66页 |
| ·测试 | 第66-67页 |
| ·本章总结 | 第67-68页 |
| 5．MEMS 仿生三轴向压阻矢量水听器的封装制作 | 第68-79页 |
| ·理论分析与选材 | 第68-69页 |
| ·封装结构设计与仿真 | 第69-72页 |
| ·水听器的封装制作 | 第72-78页 |
| ·聚氨酯透声帽的制作 | 第72-74页 |
| ·金属外壳的设计与制作 | 第74-76页 |
| ·水听器各部分的组装 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 6．MEMS 仿生三轴向压阻矢量水听器的测试 | 第79-87页 |
| ·振动台测试 | 第79-81页 |
| ·MEMS 水听器校准测试 | 第81-84页 |
| ·MEMS 水听器指向性测试 | 第84-85页 |
| ·MEMS 水听器耐静水压测试 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 7．总结与展望 | 第87-89页 |
| ·工作总结 | 第87页 |
| ·论文创新点 | 第87-88页 |
| ·工作展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
