| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-39页 |
| ·引言 | 第19-21页 |
| ·压电驱动器的电荷控制 | 第21-22页 |
| ·压电驱动器的位移反馈控制 | 第22-23页 |
| ·基于迟滞非线性模型的精密定位控制 | 第23-37页 |
| ·压电驱动器的迟滞非线性建模 | 第23-33页 |
| ·基于迟滞非线性模型的控制方案 | 第33-37页 |
| ·本文研究目标与内容安排 | 第37-39页 |
| 第二章 压电驱动器迟滞非线性的 Preisach 模型 | 第39-49页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·压电效应 | 第39-40页 |
| ·电畴与迟滞成因 | 第40-41页 |
| ·经典 Preisach 模型 | 第41-46页 |
| ·记忆擦除性 | 第44-45页 |
| ·次环一致性 | 第45-46页 |
| ·Preisach 模型的辨识 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 基于神经网络迟滞系统建模与控制 | 第49-67页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·基于神经网络的迟滞模型 | 第49-55页 |
| ·用神经网络描述 Preisach 模型 | 第49-53页 |
| ·神经网络迟滞模型的辨识方法 | 第53-54页 |
| ·误差累积 | 第54-55页 |
| ·控制器设计 | 第55-56页 |
| ·前馈控制器 | 第55-56页 |
| ·反馈控制器 | 第56页 |
| ·控制实验与结果 | 第56-66页 |
| ·实验设置 | 第56-58页 |
| ·控制前 | 第58-61页 |
| ·仅使用前馈控制器的开环控制 | 第61-62页 |
| ·前馈与反馈控制器的闭环控制 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 基于双曲函数模型的压电双晶片的迟滞控制 | 第67-81页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·双曲函数迟滞模型的改进与压电双晶片驱动器的建模 | 第67-72页 |
| ·双曲函数迟滞模型的改进 | 第67-69页 |
| ·记忆擦除性与次环一致性 | 第69-72页 |
| ·控制器设计 | 第72-75页 |
| ·逆系统控制器 | 第73页 |
| ·前馈与反馈控制器 | 第73-75页 |
| ·跟踪定位的控制实验 | 第75-80页 |
| ·单频率变幅值的控制实验 | 第75-77页 |
| ·多频叠加的控制实验 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 基于非对称 Prandtl-Ishlinskii 模型的压电叠堆驱动器的精密定位控制 | 第81-113页 |
| ·引言 | 第81-82页 |
| ·PI 迟滞模型 | 第82-96页 |
| ·经典 PI 模型 | 第82-83页 |
| ·改进 PI 模型 | 第83-88页 |
| ·经典 PI 模型与改进 PI 模型的比较 | 第88-90页 |
| ·PI 模型的参数辨识 | 第90-96页 |
| ·PI 模型的仿真实验 | 第96-101页 |
| ·经典 PI 模型的仿真 | 第97-100页 |
| ·改进 PI 模型的仿真 | 第100-101页 |
| ·跟踪控制实验 | 第101-112页 |
| ·仅使用前馈控制器的开环控制 | 第102页 |
| ·前馈与反馈控制器复合的闭环控制 | 第102-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 第六章 压电式二维微动工作台的迟滞与解耦控制 | 第113-131页 |
| ·引言 | 第113页 |
| ·改进的 Prandtl-Ishlinskii 模型 | 第113-115页 |
| ·控制器设计 | 第115-120页 |
| ·前馈控制器 | 第115-117页 |
| ·解耦控制器 | 第117-119页 |
| ·复合控制系统 | 第119-120页 |
| ·二维微动工作台的控制实验 | 第120-130页 |
| ·前馈控制实验 | 第121-122页 |
| ·解耦控制实验 | 第122-130页 |
| ·前馈、反馈与解耦的复合控制 | 第130页 |
| ·本章小结 | 第130-131页 |
| 第七章 结论 | 第131-133页 |
| ·总结 | 第131-132页 |
| ·研究展望 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第146-147页 |
