| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚的概述 | 第9页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚的特点 | 第9-10页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚成型方法 | 第10-11页 |
| ·提高石墨-碳化硅坩埚寿命的措施 | 第11-14页 |
| ·炉体结构的设计或改造 | 第11-12页 |
| ·在石墨-碳化硅坩埚内表面做处理 | 第12-14页 |
| ·坩埚使用过程的改进 | 第14页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚在国内外的应用 | 第14-17页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚的发展趋势 | 第17-18页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第18-20页 |
| 2 实验方法 | 第20-28页 |
| ·实验原料 | 第20-21页 |
| ·实验设备 | 第21页 |
| ·试样制备 | 第21-25页 |
| ·试样性能检测 | 第25-28页 |
| ·体积密度和气孔率 | 第25页 |
| ·荧光分析 | 第25-26页 |
| ·抗氧化性 | 第26页 |
| ·热分析 | 第26页 |
| ·扫描电镜分析（SEM） | 第26-27页 |
| ·能谱分析（EDS） | 第27-28页 |
| 3 进口石墨-碳化硅坩埚样品的分析 | 第28-32页 |
| ·石墨-碳化硅坩埚样品剖析 | 第28-31页 |
| ·样品的体积密度与气孔率 | 第28页 |
| ·样品的荧光分析 | 第28页 |
| ·样品的氧化失重率 | 第28-29页 |
| ·样品的热重分析 | 第29-30页 |
| ·样品的扫描电镜和能谱分析 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 4 碳化硅含量对石墨-碳化硅坩埚试样抗氧化性能的影响 | 第32-37页 |
| ·实验配方 | 第32页 |
| ·结果及讨论 | 第32-36页 |
| ·碳化硅含量对试样体积密度和气孔率的影响 | 第32-33页 |
| ·碳化硅含量对试样抗氧化性的影响 | 第33-35页 |
| ·试样的显微结构分析 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 5 硅粉含量对石墨-碳化硅坩埚试样抗氧化性能的影响 | 第37-41页 |
| ·实验配方 | 第37页 |
| ·结果及讨论 | 第37-40页 |
| ·硅粉含量对石墨-碳化硅坩埚体积密度和气孔率的影响 | 第37-38页 |
| ·硅粉含量对石墨-碳化硅坩埚抗氧化性的影响 | 第38-39页 |
| ·试样的显微结构分析 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 6 成型方法对石墨-碳化硅坩埚试样抗氧化性能的影响 | 第41-46页 |
| ·实验配方 | 第41页 |
| ·结果及讨论 | 第41-44页 |
| ·成型方法对石墨-碳化硅坩埚体积密度和气孔率的影响 | 第41-42页 |
| ·成型方法对石墨-碳化硅坩埚抗氧化性能的影响 | 第42-44页 |
| ·试样的显微结构分析 | 第44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 7 表面涂层对石墨-碳化硅坩埚抗氧化性能的影响 | 第46-51页 |
| ·实验配方 | 第46页 |
| ·结果及讨论 | 第46-49页 |
| ·表面涂层对石墨-碳化硅坩埚体积密度和气孔率的影响 | 第46-47页 |
| ·表面涂层对石墨-碳化硅坩埚抗氧化性能的影响 | 第47-49页 |
| ·试样的显微结构分析 | 第49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录 | 第57页 |
