| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-17页 |
| ·MOCVD 概述 | 第8-12页 |
| ·MOCVD 加热系统 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·题目的目的和意义 | 第16页 |
| ·本文研究的主要内容和方法 | 第16-17页 |
| 2.MOCVD 加热器的模拟仿真 | 第17-35页 |
| ·BDS 反应腔体介绍 | 第17-19页 |
| ·模拟理论基础 | 第19-22页 |
| ·模拟仿真模型的建立 | 第22-27页 |
| ·模拟仿真结果分析 | 第27-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3. 加热器结构设计 | 第35-47页 |
| ·加热器的材料特性 | 第35-37页 |
| ·加热片电阻值验证 | 第37-39页 |
| ·加热器结构介绍 | 第39-40页 |
| ·结构验证 | 第40-47页 |
| 4 总结及展望 | 第47-49页 |
| ·总结 | 第47页 |
| ·今后工作的建议及展望 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第53页 |