类金刚石薄膜强激光作用的特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·类金刚石薄膜概述 | 第9-12页 |
| ·类金刚石薄膜简介 | 第9-10页 |
| ·类金刚石薄膜的制备技术 | 第10-11页 |
| ·类金刚石薄膜存在的问题 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-16页 |
| 2 光学薄膜激光损伤理论 | 第16-27页 |
| ·光学薄膜激光损伤模型 | 第16-19页 |
| ·本征吸收及热损伤 | 第16-17页 |
| ·缺陷吸收 | 第17-18页 |
| ·热应力损伤 | 第18-19页 |
| ·电子崩离化 | 第19页 |
| ·多光子电离 | 第19页 |
| ·影响薄膜激光损伤阈值的主要因素 | 第19-24页 |
| ·激光因素 | 第20-22页 |
| ·薄膜因素 | 第22-23页 |
| ·制备技术及工艺参数 | 第23-24页 |
| ·提高光学薄膜损伤阈值的方法 | 第24-26页 |
| ·材料选择及工艺参数优化 | 第24页 |
| ·驻波场及温度场的设计 | 第24-25页 |
| ·激光预处理技术 | 第25页 |
| ·退火技术 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 无氢DLC薄膜制备及性能表征 | 第27-41页 |
| ·无氢DLC薄膜的制备 | 第27-29页 |
| ·非平衡磁控溅射的原理 | 第27-28页 |
| ·无氢DLC薄膜的制备工艺及过程 | 第28-29页 |
| ·无氢DLC薄膜性能表征 | 第29-40页 |
| ·椭圆偏振法测量光学常数 | 第29-34页 |
| ·傅里叶变换法测透过率 | 第34-36页 |
| ·Raman光谱测试薄膜结构 | 第36-37页 |
| ·AFM技术探测微观结构 | 第37-39页 |
| ·LIDT的测试 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 无氢DLC薄膜的激光辐照特性 | 第41-54页 |
| ·大光斑激光辐照实验 | 第41-44页 |
| ·小光斑激光辐照实验 | 第44-53页 |
| ·激光辐照对光学性能的影响 | 第45-47页 |
| ·激光辐照对微观结构的影响 | 第47-49页 |
| ·激光辐照对表面形貌的影响 | 第49-52页 |
| ·激光辐照对LIDT的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 氢化DLC薄膜的制备及激光辐照特性 | 第54-60页 |
| ·氢化DLC薄膜的制备 | 第54页 |
| ·激光辐照实验 | 第54-59页 |
| ·激光辐照对透过率的影响 | 第55页 |
| ·激光辐照对表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| ·激光辐照对LIDT的影响 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 结论 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
