高精度微光学加速度计信号处理系统
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·加速度传感器 | 第10-11页 |
| ·加速度计分类 | 第11-12页 |
| ·加速度计发展现状 | 第12页 |
| ·MEMS和MOEMS | 第12-15页 |
| ·MEMS | 第12-13页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第13页 |
| ·MOEMS及MOEMS加速度传感器发展现状 | 第13-15页 |
| ·光电检测 | 第15-17页 |
| ·光电检测的定义 | 第15页 |
| ·光电检测的重要性 | 第15-16页 |
| ·光电检测的发展 | 第16-17页 |
| 第2章 微加速度计及信号处理系统 | 第17-32页 |
| ·常见MEMS和MOEMS加速度计 | 第17-22页 |
| ·微加速度计(MEMS) | 第17-18页 |
| ·MOEMS微加速度计原理介绍及研究现状 | 第18-22页 |
| ·信号处理系统理论模型 | 第22-29页 |
| ·相位生成载波调制的形成 | 第22-23页 |
| ·典型的相位生成载波解调方法 | 第23-29页 |
| ·微加速度计主要性能参数 | 第29-32页 |
| ·灵敏度 | 第29-30页 |
| ·噪声 | 第30页 |
| ·分辨率 | 第30页 |
| ·频率响应 | 第30-31页 |
| ·动态范围 | 第31-32页 |
| 第3章 高精度微光学加速度计信号系统 | 第32-40页 |
| ·系统结构总体设计 | 第32-34页 |
| ·信号系统理论分析及程序实现 | 第34-37页 |
| ·光强信号 | 第34-35页 |
| ·PZT调制信号 | 第35-37页 |
| ·调制与解调过程 | 第37-38页 |
| ·相敏检波电路解调 | 第38-39页 |
| ·数字采集系统 | 第39-40页 |
| 第4章 加速度计系统的制备与装配 | 第40-54页 |
| ·MOEMS结构 | 第40-41页 |
| ·光电检测系统 | 第41-53页 |
| ·光电探测器和前置放大电路 | 第41-46页 |
| ·差分放大电路噪声分析和放大器选择 | 第46-48页 |
| ·电压跟随器 | 第48-49页 |
| ·滤波电路的设计 | 第49-52页 |
| ·整体电路板 | 第52-53页 |
| ·信号系统中为了减小噪声所做的工作 | 第53-54页 |
| 第5章 实验测试与噪声分析 | 第54-63页 |
| ·光强和加速度的归一化曲线 | 第54页 |
| ·验证试验 | 第54-57页 |
| ·1g静态翻滚实验 | 第55-56页 |
| ·静态漂移实验 | 第56-57页 |
| ·噪声测试 | 第57-63页 |
| ·噪声和噪声测试原则 | 第57-58页 |
| ·数据分析 | 第58-62页 |
| ·系统噪声 | 第62-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
