| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| ·概述 | 第13-14页 |
| ·高速 IGBT 技术发展 | 第14-23页 |
| ·主要工作和创新点 | 第23-29页 |
| 第二章 高速 LIGBT 电势控制理论 | 第29-45页 |
| ·非平衡载流子的抽出与 SNAPBACK 现象分析 | 第29-32页 |
| ·高速 LIGBT 电势控制（PA）理论 | 第32-41页 |
| ·基于 PA 技术的高速 LIGBT 设计 | 第41-42页 |
| ·PA 技术的适用性 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第三章 电势控制高速 LIGBT 器件 | 第45-89页 |
| ·PA 区阳极高速 LIGBT 器件 | 第45-56页 |
| ·结构特征与工作机理 | 第46-51页 |
| ·关键参数对导通特性和关断特性的影响 | 第51-55页 |
| ·参数典型值与工艺要求 | 第55-56页 |
| ·改进型 PA 区阳极高速 LIGBT 器件 | 第56-68页 |
| ·槽型工艺新结构 | 第56-60页 |
| ·埋层新结构 | 第60-64页 |
| ·分离阳极新结构 | 第64-68页 |
| ·增强型 PA 区阳极高速 LIGBT 器件 | 第68-75页 |
| ·阳极掩蔽注入增强效应 | 第68-71页 |
| ·增强型阳极新结构 | 第71-75页 |
| ·电势控制高速 LIGBT 器件的实验验证 | 第75-87页 |
| ·实验方案 | 第76-79页 |
| ·分离 PA 区阳极新结构 | 第79-83页 |
| ·耗尽型 PA 区阳极新结构 | 第83-85页 |
| ·实验结果讨论 | 第85-87页 |
| ·小结 | 第87-89页 |
| 第四章 三维电势控制高速 LIGBT 器件 | 第89-122页 |
| ·双通道三维 PA 区阳极高速 LIGBT 器件 | 第89-98页 |
| ·结构特征 | 第89-90页 |
| ·工作机理 | 第90-92页 |
| ·关键参数对导通特性和关断特性的影响 | 第92-97页 |
| ·参数典型值与工艺要求 | 第97-98页 |
| ·复合 PA 区阳极高速 LIGBT 器件 | 第98-108页 |
| ·常规型复合阳极新结构 | 第98-101页 |
| ·透明型复合阳极新结构 | 第101-107页 |
| ·工艺可集成性 | 第107-108页 |
| ·三维电势控制高速 LIGBT 器件的实验验证 | 第108-120页 |
| ·实验方案 | 第108-112页 |
| ·分段阳极新结构 | 第112-115页 |
| ·复合阳极新结构 | 第115-117页 |
| ·实验结果讨论 | 第117-120页 |
| ·小结 | 第120-122页 |
| 第五章 结论 | 第122-126页 |
| ·总结 | 第122-124页 |
| ·展望 | 第124-126页 |
| 致谢 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-144页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第144-146页 |