高分辨率激光并行直写系统研究与应用
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外激光直写的研究现状 | 第9-16页 |
| ·本论文研究内容及创新点 | 第16-18页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 激光并行直写系统硬件设计与性能分析 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·基本结构 | 第18-20页 |
| ·硬件设计与性能分析 | 第20-30页 |
| ·光源 | 第20页 |
| ·扩束器与光束整形器(piShaper) | 第20-21页 |
| ·数字微镜器件(DMD) | 第21-27页 |
| ·缩微成像系统 | 第27-28页 |
| ·分束合束干涉成像系统 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 激光并行直写系统软件设计与优化 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·图像处理软件 | 第31-37页 |
| ·数据处理方式 | 第33-36页 |
| ·软件界面简介 | 第36-37页 |
| ·控制软件 | 第37-43页 |
| ·PMAC控制卡 | 第37-39页 |
| ·PCI1750可编程I/O卡 | 第39-40页 |
| ·曝光方式 | 第40-42页 |
| ·软件界面简介 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 激光并行直写工艺的研究 | 第44-50页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·比较实验分析 | 第44-45页 |
| ·不同微结构对光导板亮度均匀度的研究 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 激光并行直写系统的应用研究 | 第50-70页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·光导板 | 第50-60页 |
| ·光导板光学设计原理 | 第51-53页 |
| ·光导板设计方法 | 第53-56页 |
| ·光导板制作方法 | 第56-57页 |
| ·实验结果与分析 | 第57-60页 |
| ·光学可变图像和二元光学器件 | 第60-67页 |
| ·2D/3D光变图像 | 第61-62页 |
| ·动态3D光变图像 | 第62-63页 |
| ·超微图形文字 | 第63-64页 |
| ·二元光学元件 | 第64-67页 |
| ·新一代机动车驾驶证 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-73页 |
| ·论文总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读学位期间发表的论文及申请的专利 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 详细摘要 | 第79-81页 |
