| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·垂直腔面发射激光器简介 | 第7-10页 |
| ·垂直腔面发射激光器发展现状 | 第10-12页 |
| ·垂直腔面发射激光器应用 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 VCSEL的制作工艺 | 第15-22页 |
| ·VCSEL制作工艺 | 第15-21页 |
| ·AlN薄膜的作用 | 第21-22页 |
| 第三章 AlN薄膜的制备 | 第22-33页 |
| ·薄膜的形成过程 | 第23-24页 |
| ·实验设备及原理 | 第24-25页 |
| ·实验过程 | 第25-33页 |
| 第四章 氮化铝薄膜的测试及结果分析 | 第33-41页 |
| ·表面形貌 | 第33-34页 |
| ·光学性能 | 第34-35页 |
| ·薄膜应力 | 第35-38页 |
| ·电学性能 | 第38-41页 |
| 总结与展望 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |