| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| §1.1 引言 | 第10-13页 |
| §1.2 国内外相关研究报道 | 第13-18页 |
| §1.2.1 国外相关研究报道 | 第13-16页 |
| §1.2.2 国内相关研究报道 | 第16-18页 |
| §1.3 本文的研究意义和主要研究工作 | 第18-19页 |
| §1.4 小结 | 第19-20页 |
| 第二章 Cu膜和Ag膜的制备、微结构及其光电性质表征 | 第20-37页 |
| §2.1 Cu膜和Ag膜的研究意义 | 第20-21页 |
| §2.1.1 Cu膜的研究意义 | 第20页 |
| §2.1.2 Ag膜的研究意义 | 第20-21页 |
| §2.2 样品制备 | 第21-22页 |
| §2.2.1 基片及靶材的清洗 | 第21页 |
| §2.2.2 Cu膜和Ag膜的制备 | 第21-22页 |
| §2.2.2.1 Cu膜的制备 | 第21-22页 |
| §2.2.2.2 Ag膜的制备 | 第22页 |
| §2.3 膜厚测量 | 第22-25页 |
| §2.3.1 Cu膜的膜厚测量 | 第22-24页 |
| §2.3.2 Ag膜的膜厚测量 | 第24-25页 |
| §2.4 微结构 | 第25-30页 |
| §2.4.1 X射线衍射(XRD)表征 | 第25-27页 |
| §2.4.1.1 Cu膜的XRD表征 | 第25-26页 |
| §2.4.1.2 Ag膜的XRD表征 | 第26-27页 |
| §2.4.2 SEM表征 | 第27-29页 |
| §2.4.2.1 Cu膜的SEM表征 | 第27-28页 |
| §2.4.2.2 Ag膜的SEM表征 | 第28-29页 |
| §2.4.3 3D轮廓仪表征 | 第29-30页 |
| §2.4.3.1 Cu膜的3D轮廓仪表征 | 第29-30页 |
| §2.4.3.2 Ag膜的3D轮廓仪表征 | 第30页 |
| §2.5 Cu膜和Ag膜的光学性能 | 第30-35页 |
| §2.5.1 Cu膜的光学性能 | 第30-34页 |
| §2.5.1.1 透射性能 | 第31-32页 |
| §2.5.1.2 反射性能 | 第32-33页 |
| §2.5.1.3 吸收性能 | 第33-34页 |
| §2.5.2 Ag膜的光学性能 | 第34-35页 |
| §2.6 电学性能 | 第35页 |
| §2.7 小结 | 第35-37页 |
| 第三章 Cu/ITO薄膜的制备、微结构及光电性质表征 | 第37-47页 |
| §3.1 样品制备 | 第37-38页 |
| §3.1.1 基片及靶材的清洗 | 第37页 |
| §3.1.2 ITO薄膜及Cu/ITO薄膜的制备 | 第37-38页 |
| §3.2 膜厚测量 | 第38页 |
| §3.2.1 表面轮廓仪测量 | 第38页 |
| §3.3 结构分析 | 第38-41页 |
| §3.3.1 XRD测试 | 第38-39页 |
| §3.3.2 SEM测试 | 第39-40页 |
| §3.3.3 3D轮廓仪测试 | 第40-41页 |
| §3.4 光学性能 | 第41-44页 |
| §3.4.1 透射光谱 | 第41-43页 |
| §3.4.2 反射光谱 | 第43-44页 |
| §3.4.3 吸收光谱 | 第44页 |
| §3.5 电学性能 | 第44-45页 |
| §3.6 小结 | 第45-47页 |
| 第四章 Cu/ITO/Ag薄膜的制备、微结构及光电性质表征 | 第47-55页 |
| §4.1 样品制备 | 第47页 |
| §4.1.1 ITO/Ag薄膜及Cu/ITO/Ag薄膜的制备 | 第47页 |
| §4.2 薄膜结构 | 第47-49页 |
| §4.2.1 XRD测试 | 第47-48页 |
| §4.2.2 SEM测试 | 第48-49页 |
| §4.3 光学性能 | 第49-53页 |
| §4.3.1 透射光谱 | 第49-50页 |
| §4.3.2 反射光谱 | 第50-51页 |
| §4.3.3 吸收光谱 | 第51-52页 |
| §4.3.4 Cul/ITO/Ag和Ag/ITO/Cul薄膜光学性能的对比 | 第52-53页 |
| §4.4 电学性能 | 第53页 |
| §4.5 效能因子和分光比 | 第53-54页 |
| §4.6 小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论与后续工作展望 | 第55-57页 |
| §5.1 结论 | 第55-56页 |
| §5.2 工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第65页 |
