无衍射光斑尺寸和能量分布的测量
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究的现状分析 | 第9页 |
| ·本文的主要工作和创新 | 第9-11页 |
| 2 测量原理及系统 | 第11-17页 |
| ·对光斑测量装置的要求 | 第11-12页 |
| ·光斑测量方法的比较分析 | 第12-15页 |
| ·测量系统的组成和工作原理 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 3 精密机械扫描装置 | 第17-28页 |
| ·对精密机械扫描装置的要求 | 第17-18页 |
| ·柔性铰链原理、参数及转角刚度的计算公式 | 第18-21页 |
| ·微动工作台的设计和制作 | 第21-23页 |
| ·微动工作台位移误差分析 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 4 信号接收及处理 | 第28-37页 |
| ·光信号的接收 | 第28-31页 |
| ·I/V 转换和放大电路 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 5 测量结果及分析 | 第37-45页 |
| ·测量及测量数据 | 第37-39页 |
| ·测量结果和分析 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 6 总结与展望 | 第45-47页 |
| ·全文总结 | 第45页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 附录Ⅰ 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第51-61页 |
| 附录Ⅲ 无衍射光斑测量系统实物图 | 第61-62页 |
| 附录Ⅳ 机械扫描装置实物图 | 第62-63页 |
| 附录Ⅴ 电路版实物图 | 第63-64页 |
| 附录Ⅵ 测量结果的处理程序 | 第64-67页 |
