多晶硅锭中硬质夹杂性质与形成机理研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| ·太阳电池发展背景 | 第8页 |
| ·太阳电池类型 | 第8-10页 |
| ·多晶体硅太阳电池的发展 | 第10-13页 |
| ·多晶硅片生产技术 | 第13-17页 |
| ·浇铸法 | 第13-14页 |
| ·热交换法及布里曼法 | 第14-15页 |
| ·电磁铸锭法 | 第15-16页 |
| ·多晶硅片切割 | 第16-17页 |
| ·多晶硅锭中的碳、氮、氧杂质与夹杂相 | 第17-20页 |
| ·铸造多晶硅中的氧 | 第17-18页 |
| ·铸造多晶硅中的碳 | 第18-19页 |
| ·铸造多晶硅中的氮 | 第19-20页 |
| ·铸造多晶硅中的夹杂物 | 第20页 |
| ·本文研究目的和主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 多晶硅中硬质夹杂性质研究 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·实验方法 | 第21-22页 |
| ·结果与讨论 | 第22-32页 |
| ·硅片脊纹及线锯断裂分析 | 第22-25页 |
| ·原位夹杂物相分析 | 第25-29页 |
| ·溶解沉淀分析 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 多晶硅锭中硬质夹杂形成研究 | 第33-50页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·实验方法 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-49页 |
| ·原料中杂质对多晶硅锭中SiC形成影响 | 第35-38页 |
| ·C-SiO_2对多晶硅锭中SiC形成的影响 | 第38-43页 |
| ·扩散与分凝对多晶硅锭中SiC的影响 | 第43-46页 |
| ·固态扩散生长对多晶硅中SiC影响 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 总结 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第58页 |
