标准漏孔校准装置的研究与应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 研究方案的分析与确定 | 第7-13页 |
| ·绪论 | 第7-8页 |
| ·漏孔校准方法的比较 | 第8-11页 |
| ·固定流导技术发展现状 | 第11页 |
| ·本文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 流量计系统的理论分析 | 第13-22页 |
| ·真空检漏标准装置的组成 | 第13-14页 |
| ·固定流导法流量计 | 第14页 |
| ·校准系统 | 第14-15页 |
| ·被校漏孔系统 | 第15-16页 |
| ·真空检漏标准装置标准配置 | 第16-20页 |
| ·固定流导法流量计测量原理 | 第20页 |
| ·漏孔漏率校准原理 | 第20-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第三章 小孔流导计算 | 第22-29页 |
| ·粘滞流时圆柱长管的流导 | 第22-25页 |
| ·分子流时圆柱长管的流导 | 第25-26页 |
| ·过渡流时圆柱长管的流导 | 第26-27页 |
| ·讨论 | 第27-29页 |
| 第四章 小孔流导测量 | 第29-44页 |
| ·小孔的选择 | 第29-31页 |
| ·小孔流导测量装置 | 第31-32页 |
| ·小孔流导的测量公式 | 第32-33页 |
| ·小孔流导的实验测量 | 第33-39页 |
| ·小孔流导测量不确定的评定 | 第39-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第五章 真空检漏标准装置性能测试 | 第44-55页 |
| ·质谱分析室极限真空度的测试 | 第44页 |
| ·稳压室极限真空度的测试 | 第44-45页 |
| ·质谱分析室真空质量谱图分析 | 第45页 |
| ·质谱分析室漏放气的测试 | 第45-47页 |
| ·稳压室漏放气的测试 | 第47-49页 |
| ·真空检漏标准装置全量程气体微流量测试 | 第49-51页 |
| ·真空检漏标准装置的不确定度评定 | 第51-53页 |
| ·四极质谱计计量性能的研究 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第六章 真空漏孔的实际校准 | 第55-59页 |
| ·漏孔测试 | 第55-57页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·小结 | 第57-59页 |
| 总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 研究成果 | 第65页 |
