| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| ·微流控芯片研究背景及意义 | 第12-14页 |
| ·激光微细加工技术综述 | 第14-18页 |
| ·激光微细加工技术 | 第14-15页 |
| ·激光微细加工技术的方法和应用 | 第15-18页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片研究现状 | 第18-23页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片国外研究现状 | 第18-21页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片国内研究现状 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究内容与论文结构 | 第23-26页 |
| 第二章 CO_2激光加工聚合物材料的作用机理研究 | 第26-43页 |
| ·高分子聚合物微流控芯片基片选型 | 第26-28页 |
| ·高分子聚合物选型原则 | 第26-27页 |
| ·适于微流控芯片制造的聚合物材料 | 第27-28页 |
| ·CO_2激光加工聚合物材料的作用机理 | 第28-37页 |
| ·CO_2激光加工聚合物的作用机制 | 第28-30页 |
| ·CO_2激光辐照聚合物材料热作用研究 | 第30-37页 |
| ·CO_2激光加工PMMA作用机理研究 | 第37-42页 |
| ·PMMA热降解机理研究 | 第38页 |
| ·PMMA的热解反应动力学研究 | 第38-39页 |
| ·CO_2激光直写PMMA加工过程分析 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 CO_2激光直写聚合物微流道建模研究 | 第43-60页 |
| ·前言 | 第43-45页 |
| ·CO_2激光打孔模型推导 | 第45-48页 |
| ·CO_2激光加工聚合物切割模型推导 | 第48-51页 |
| ·CO_2激光直写聚合物微流控芯片三维微流道建模研究 | 第51-56页 |
| ·CO_2激光直写聚合物微流控芯片三维流道建模 | 第51-53页 |
| ·激光加工三维流道模型求解方法 | 第53-56页 |
| ·模型结果分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 CO_2激光直写聚合物三维瞬态温度场与热应力场有限元建模研究 | 第60-79页 |
| ·有限元求解方法 | 第60-64页 |
| ·有限元方法的一般步骤 | 第61-62页 |
| ·相变热传导问题分析的有限元法 | 第62-64页 |
| ·激光加工聚合物三维瞬态温度场及烧蚀流道耦合分析 | 第64-67页 |
| ·激光直写聚合物三维瞬态温度场模型 | 第64页 |
| ·有限元建模求解 | 第64-66页 |
| ·界面追踪和精度控制 | 第66页 |
| ·程序流程图 | 第66-67页 |
| ·CO_2激光加工聚合物三维瞬态热应力场分析 | 第67-70页 |
| ·数值仿真研究 | 第70-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 CO_2激光直写聚合物微流控芯片精密加工实验系统研制 | 第79-98页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片精密加工实验系统构建 | 第79-81页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片精密工件台控制系统设计 | 第81-88页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片精密工件台控制系统硬件设计 | 第81-83页 |
| ·激光直写聚合物微流控芯片精密工件台软件设计 | 第83-88页 |
| ·基于LSSVM的直线电机定位误差建模与分析 | 第88-97页 |
| ·直线电机定位误差补偿技术研究现状分析 | 第88-89页 |
| ·最小二乘支持向量机(LSSVM)理论 | 第89-92页 |
| ·双频激光干涉仪测试原理 | 第92-93页 |
| ·直线电机定位误差测定 | 第93-94页 |
| ·直线电机定位误差预测模型 | 第94-96页 |
| ·误差补偿后的定位精度分析 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第六章 CO_2激光直写PMMA微流道实验研究 | 第98-118页 |
| ·CO_2激光直写PMMA实验方案设计 | 第98-100页 |
| ·实验结果测量 | 第100-111页 |
| ·实验检测仪器 | 第100-102页 |
| ·流道轮廓特征 | 第102-103页 |
| ·实验测量结果 | 第103-108页 |
| ·实验测量结果列表 | 第108-111页 |
| ·实验结果分析 | 第111-117页 |
| ·单次加工时,流道深度与激光功率、扫描速度的关系 | 第111-113页 |
| ·重复扫描加工时,流道尺寸与激光加工次数的关系 | 第113-116页 |
| ·工艺顺序对T型流道的影响 | 第116-117页 |
| ·激光直写得到的十字型流道的微流控芯片 | 第117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 第七章 总结与展望 | 第118-121页 |
| ·主要结论 | 第118-120页 |
| ·展望 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-129页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和参加科研情况 | 第129-130页 |
| A.发表或录用的学术论文 | 第129页 |
| B.参加的科研项目 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130页 |
