金属互连薄膜的制备与研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-20页
·现代微结构中的电互连技术	第10-11页
·金属互连薄膜的性能	第11-17页
·剥离工艺	第17-18页
·本论文的主要研究内容	第18-20页
2 金属镍互连薄膜的制备	第20-39页
·真空蒸发镀膜法简介和原理	第20-26页
·离子束反应溅射简介和原理	第26-29页
·离子束溅射制备金属薄膜	第29-32页
·电子束蒸发制备金属互连薄膜	第32-37页
·本章总结	第37-39页
3 镍金属互连薄膜性能分析方法及测试	第39-54页
·薄膜的台阶仪测试	第39-42页
·薄膜的X 射线衍射技术分析测试	第42-44页
·薄膜的原子力显微镜分析测试	第44-46页
·影响金属镍薄膜性能的因素	第46-53页
·本章总结	第53-54页
4 金属互连薄膜的计算机应力模拟	第54-67页
·有限元分析软件简介	第54-57页
·计算机模拟热分析	第57-62页
·计算机模拟热-应力耦合分析	第62-65页
·本章总结	第65-67页
5 金属互连柱互连性的测试	第67-71页
·测试流程设计	第67-70页
·测试实验结果与分析	第70页
·本章总结	第70-71页
6 全文总结	第71-73页
致谢	第73-74页
参考文献	第74-78页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录	第78页