薄膜热物性实验研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·MEMS 技术发展背景 | 第8-10页 |
| ·MEMS 领域热电器件的研究进展 | 第10-17页 |
| ·课题来源与主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 微尺度热传导研究方法及研究现状 | 第19-27页 |
| ·薄膜导热系数研究方法的发展 | 第19-20页 |
| ·薄膜材料热传导研究现状 | 第20-26页 |
| ·体态材料 | 第20-21页 |
| ·薄膜材料 | 第21-25页 |
| ·纳米线和纳米碳管导热研究 | 第25页 |
| ·超晶格纳米线（SLNW）导热研究 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 3ω方法基本原理 | 第27-37页 |
| ·3ω实验方法的发展及应用 | 第27页 |
| ·3ω实验方法的理论原理 | 第27-34页 |
| ·经典3ω实验方法 | 第27-33页 |
| ·扩展3ω实验方法 | 第33-34页 |
| ·黑体辐射对测试精度的影响 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 体态硅导热系数的测试 | 第37-43页 |
| ·测量方法和测试系统 | 第37-38页 |
| ·材料和加热器件的制备 | 第38-40页 |
| ·测试的结果及分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 SiO_2薄膜导热系数的测试 | 第43-52页 |
| ·测试方案和材料的制备 | 第43-44页 |
| ·测试结果及分析 | 第44-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-53页 |
| ·结论 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第58页 |
