| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-25页 |
| 1． 1 稀土铁石榴石材料 | 第7-11页 |
| 1． 1． 1 未掺杂YIG石榴石材料 | 第7-8页 |
| 1． 1． 2 Bi掺杂系列石榴石材料 | 第8页 |
| 1． 1． 3 Ce掺杂石榴石材料 | 第8-9页 |
| 1． 1． 4 稀土铁石榴石材料的制备方法 | 第9-11页 |
| 1． 1． 4． 1 物理方法 | 第9页 |
| 1． 1． 4． 2 化学方法 | 第9-11页 |
| 1． 1． 4． 3 物理化学方法 | 第11页 |
| 1． 2 磁光效应 | 第11-15页 |
| 1． 2． 1 磁光效应定义 | 第12页 |
| 1． 2． 2 磁光效应的测试 | 第12-14页 |
| 1． 2． 3 磁光材料的分类 | 第14-15页 |
| 1． 3 磁光器件 | 第15-18页 |
| 1． 3． 1 磁光调制器 | 第15-16页 |
| 1． 3． 2 磁光隔离器 | 第16页 |
| 1． 3． 3 磁光传感器 | 第16-17页 |
| 1． 3． 4 磁光存储器 | 第17页 |
| 1． 3． 5 磁光波导器件 | 第17-18页 |
| 1． 4 离子束辅助薄膜沉积 | 第18-24页 |
| 1． 4． 1 离子束辅助沉积 | 第18-19页 |
| 1． 4． 1． 1 离子束技术 | 第18-19页 |
| 1． 4． 1． 2 离子束辅助薄膜沉积原理 | 第19页 |
| 1． 4． 2 IBAD系统 | 第19-22页 |
| 1． 4． 2． 1 真空系统 | 第19-20页 |
| 1． 4． 2． 2 气相激发源 | 第20页 |
| 1． 4． 2． 3 离子源 | 第20-22页 |
| 1． 4． 3 IBAD的应用领域 | 第22-24页 |
| 1． 4． 3． 1． 耐磨耐腐蚀薄膜 | 第22-23页 |
| 1． 4． 3． 2 光、电功能薄膜 | 第23-24页 |
| 1． 5 问题的提出和本课题的目的 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-31页 |
| 2． 1 电子束蒸发沉积 | 第25页 |
| 2． 2 离子束辅助电子束蒸发沉积 | 第25-29页 |
| 2． 2． 1 实验设备 | 第27-28页 |
| 2． 2． 2 射频ICP离子源 | 第28页 |
| 2． 2． 3 离子源放电实验 | 第28-29页 |
| 2． 3 样品性能测试 | 第29-31页 |
| 2． 3． 1 X射线衍射分析 | 第29-30页 |
| 2． 3． 2 SEM分析 | 第30页 |
| 2． 3． 3 法拉第效应测试 | 第30-31页 |
| 第三章 用IBAD方法制备稀土铁石榴石薄膜 | 第31-50页 |
| 3． 1 YIG薄膜的制备 | 第32-34页 |
| 3． 2 Bi：YIG薄膜的制备 | 第34-38页 |
| 3． 2． 1 电子束蒸发沉积Bi：YIG薄膜 | 第34-36页 |
| 3． 2． 2 离子束辅助电子束蒸镀Bi：YIG薄膜 | 第36-38页 |
| 3． 3 Ce：YIG薄膜的制备 | 第38-47页 |
| 3． 3． 1 电子束蒸发沉积Ce：YIG薄膜 | 第38-42页 |
| 3． 3． 2 离子束辅助电子束蒸镀Ce：YIG薄膜 | 第42-47页 |
| 3． 4 结果对比分析 | 第47-50页 |
| 第四章 多种铁石榴石材料的磁光性能测试 | 第50-58页 |
| 4． 1 磁光旋转测试装置 | 第50-52页 |
| 4． 1． 1 磁光旋转测量原理 | 第50页 |
| 4． 1． 2 可见／红外磁光旋转测试装置 | 第50-51页 |
| 4． 1． 3 测量方法 | 第51-52页 |
| 4． 2 多种铁石榴石材料的磁光性能测试 | 第52-57页 |
| 4． 2． 1 液相外延法制备YBiIG／YbiG复合稀土铁石榴石薄膜的磁光性能测试 | 第52-54页 |
| 4． 2． 2#共沉淀法制备Bi-YIG／环氧树脂磁光复合薄膜的磁光性能测试 | 第54-56页 |
| 4． 2． 3 离子束辅助电子束蒸发制备铁石榴石薄膜的磁光性能测试 | 第56-57页 |
| 4． 3 不同条件下制备的石榴石材料磁光性能比较及讨论 | 第57-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 研究生阶段所发表论文和专利 | 第65页 |
