| 论文授权说明 | 第1-3页 |
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| Abstract(英文摘要) | 第5-7页 |
| 目 录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·金刚石多层薄膜声表面波器件的基本构造和薄膜材料 | 第10-13页 |
| ·金刚石多层薄膜声表面波器件的基本构造 | 第11-12页 |
| ·薄膜材料的种类和形成方法 | 第12-13页 |
| ·金刚石SAW器件的研究进展 | 第13-23页 |
| ·金刚石SAW器件的理论研究进展 | 第13-16页 |
| ·金刚石SAW器件的材料工艺研究 | 第16-19页 |
| ·高频金刚石SAW器件的实验进展 | 第19-22页 |
| ·高频金刚石SAW器件的未来展望 | 第22-23页 |
| ·论文工作的目的及构想 | 第23-24页 |
| 第二章 多层薄膜结构声表面波滤波器的基本理论 | 第24-46页 |
| ·瑞利波在多层薄膜结构中的传播 | 第24-30页 |
| ·声表面波传播理论 | 第24-26页 |
| ·瑞利波在层状结构中的传播 | 第26-30页 |
| ·叉指换能器(IDT)理论 | 第30-41页 |
| ·叉指换能器的工作原理和基本特性 | 第30-34页 |
| ·叉指换能器的脉冲响应模型 | 第34-38页 |
| ·叉指换能器的加权 | 第38-41页 |
| ·声表面波滤波器基本参数和测量 | 第41-44页 |
| ·声表面波滤波器的基本参数 | 第41-43页 |
| ·测量手段 | 第43-44页 |
| ·二次效应对生表面波滤波器特性的影响 | 第44-46页 |
| 第三章 金刚石多层薄膜结构RF声表面波滤波器的设计 | 第46-57页 |
| ·多层薄膜结构滤波器的目标参数 | 第46页 |
| ·滤波器的剖面结构设计 | 第46-49页 |
| ·剖面结构选择 | 第46-47页 |
| ·ZnO厚度的选择 | 第47-49页 |
| ·叉指换能器(IDT)结构的设计 | 第49-57页 |
| ·电极设计基本原理 | 第49-53页 |
| ·电极设计过程 | 第53-57页 |
| 第四章 金刚石多层薄膜结构声表面波滤波器工艺制作过程 | 第57-71页 |
| ·IDT/ZnO/Diamond/Si结构滤波器的工艺加工流程 | 第57页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第57-61页 |
| ·SAW器件用ZnO压电薄膜技术指标 | 第57-59页 |
| ·磁控溅射装置及ZnO制备过程 | 第59-61页 |
| ·导电薄膜Al膜的制备 | 第61-62页 |
| ·叉指换能器(IDT)的制备 | 第62-70页 |
| ·电子束曝光和显影 | 第63-64页 |
| ·反应离子刻蚀 | 第64-70页 |
| ·后道工序 | 第70-71页 |
| 第五章 ZnO 薄膜的性质和结果分析 | 第71-93页 |
| ·ZnO薄膜的结构特征 | 第71-78页 |
| ·不同溅射气压 | 第71-74页 |
| ·不同氩氧比 | 第74-76页 |
| ·不同温度和衬底 | 第76-78页 |
| ·ZnO薄膜的表面和截面形貌特征 | 第78-81页 |
| ·ZnO薄膜的表面粗糙度 | 第81-83页 |
| ·ZnO薄膜的电阻率 | 第83-85页 |
| ·ZnO薄膜的机械性能 | 第85-89页 |
| ·制备参数对薄膜特性的影响分析 | 第89-93页 |
| ·溅射气压的影响 | 第89-90页 |
| ·衬底温度影响 | 第90-91页 |
| ·氩氧比的影响 | 第91-92页 |
| ·衬底种类的影响 | 第92-93页 |
| 第六章 多层薄膜结构声表面波滤波器的测试性能和结果分析 | 第93-109页 |
| ·滤波器的高频测试原理 | 第93-95页 |
| ·滤波器性能实际测试结果 | 第95-102页 |
| ·IDT/ZnO/Si结构滤波器测试结果 | 第95-98页 |
| ·IDT/ZnO/Diamond结构滤波器测试结果 | 第98-102页 |
| ·多层薄膜结构滤波器插损分析 | 第102-109页 |
| 第七章 全文总结 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-117页 |
| 致 谢 | 第117-118页 |
| 硕士期间发表论文 | 第118页 |
