激光干涉表面形貌测量系统及3D-MOTIF评定研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪 论 | 第8-25页 |
| ·工程表面形貌及其研究意义 | 第8-11页 |
| ·工程表面形貌研究历史回顾 | 第11-23页 |
| ·课题来源、作者的主要工作及创新 | 第23-25页 |
| 2 HST光学轮廓仪的研制 | 第25-62页 |
| ·HST光学轮廓仪的研制目的 | 第25-28页 |
| ·仪器总体结构设计 | 第28-58页 |
| ·实测与应用结果 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 3 MOTIF 评定方法概述 | 第62-92页 |
| ·MOTIF评定方法的概念及缘起 | 第62-63页 |
| ·二维MOTIF参数体系及评定方法 | 第63-79页 |
| ·MOTIF合并滤波特性研究 | 第79-82页 |
| ·MOTIF评定方法与中线制评定方法比较研究 | 第82-84页 |
| ·3D-MOTIF研究现状及存在的问题 | 第84-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 4 3D－MOTIF评定体系 | 第92-104页 |
| ·3D-MOTIF的定义 | 第92-96页 |
| ·3D-MOTIF合并算法 | 第96-98页 |
| ·3D-MOTIF参数体系 | 第98-99页 |
| ·实例演示 | 第99-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 5 总结与展望 | 第104-106页 |
| ·全文总结 | 第104-105页 |
| ·对今后工作的展望 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-114页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第114-115页 |
| 附录2 国家发明专利受理通知书 | 第115-118页 |
| 附录3 部分算法源程序 | 第118-123页 |
