| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·MEMS的定义 | 第9页 |
| ·MEMS的研究发展状况 | 第9-15页 |
| ·国外MEMS技术的研究现状 | 第9-12页 |
| ·国内MEMS技术的研究现状 | 第12-15页 |
| ·MEMS的应用及发展趋势 | 第15-19页 |
| 第二章 静电电动机及其研究发展状况 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·静电电动机的原理 | 第19-22页 |
| ·静电电动机的分类 | 第22-24页 |
| ·静电电动机的研究现状 | 第24-26页 |
| ·静电电动机的应用及发展趋势 | 第26-29页 |
| 第三章 微型静电电动机的理论基础 | 第29-43页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·驻极体 | 第29-35页 |
| ·驻极体及其基本性质概述 | 第29-30页 |
| ·聚合物薄膜驻极体材料 | 第30-33页 |
| ·驻极体的应用 | 第33-35页 |
| ·扁平驻极体微电机的建模 | 第35-43页 |
| ·1极-1极扁平驻极体微电机 | 第36-39页 |
| ·1极-2极扁平驻极体微电机 | 第39-41页 |
| ·2极-2极扁平驻极体微电机 | 第41-42页 |
| ·m极-n极扁平驻极体微电机 | 第42-43页 |
| 第四章 扁平驻极体微电机的设计 | 第43-57页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·MEMS基础理论 | 第43-52页 |
| ·尺寸效应 | 第43-45页 |
| ·微机械常用材料 | 第45-46页 |
| ·微构造的机械特性 | 第46-47页 |
| ·微构造的振动特性 | 第47-48页 |
| ·摩擦磨耗的减小方法 | 第48页 |
| ·微机械制造技术 | 第48-52页 |
| ·双定子扁平驻极体微电机的设计 | 第52-57页 |
| ·1极-2扁平驻极体微电机 | 第54-55页 |
| ·2极-2极扁平驻极体微电机 | 第55-57页 |
| 第五章 扁平驻极体微电机的数值分析 | 第57-71页 |
| ·引言 | 第57-58页 |
| ·Ansys程序简介及其应用 | 第58-62页 |
| ·ANSYS在微机电系统(MEMS)设计中的应用 | 第59-61页 |
| ·ANSYS在电机设计中的应用 | 第61-62页 |
| ·扁平驻极体微电机的数值模拟 | 第62-71页 |
| ·问题描述 | 第62-63页 |
| ·预期的分析结果 | 第63页 |
| ·图形用户界面方法(GUI Method) | 第63-66页 |
| ·结果分析 | 第66-68页 |
| ·APDL命令程序(Command Method) | 第68-71页 |
| 第六章 扁平驻极体微电机的应用研究 | 第71-77页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·驻极体微泵 | 第71-75页 |
| ·磁力泵 | 第72-73页 |
| ·驻极体微泵 | 第73-75页 |
| ·风扇 | 第75-77页 |
| 结束语 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |