超精细表面微观形貌无接触在线检测仪的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1．1 超精密加工的发展 | 第8-9页 |
| 1．2 超精细表面微观形貌的检测 | 第9-16页 |
| 1．3 表面微观形貌检测技术的发展趋势 | 第16-17页 |
| 1．4 本课题的背景、来源及目的 | 第17-19页 |
| 2 在线检测系统的理论研究 | 第19-37页 |
| 2．1 激光的纵模和横模 | 第19-21页 |
| 2．2 高斯光束 | 第21-31页 |
| 2．3 光在晶体中的传播 | 第31页 |
| 2．4 表面微观形貌在线检测系统的原理 | 第31-37页 |
| 3 稳频系统的设计 | 第37-53页 |
| 3．1 稳频的必要性 | 第37页 |
| 3．2 频率的稳定度及复现性 | 第37-38页 |
| 3．3 影响频率稳定的因素 | 第38-39页 |
| 3．4 稳频方法概述 | 第39-40页 |
| 3．5 双纵模热稳频法 | 第40-53页 |
| 4 相位测量系统 | 第53-62页 |
| 4．1 相位的基本概念 | 第53页 |
| 4．2 相位测量的几种主要方法 | 第53-56页 |
| 4．3 AD8302对相位的测量 | 第56-61页 |
| 4．4 延迟线移相系统 | 第61-62页 |
| 5 精度分析 | 第62-64页 |
| 6 实验结果及分析 | 第64-71页 |
| 6．1 实物图 | 第64页 |
| 6．2 系统分辨力测试 | 第64-66页 |
| 6．3 重复测量实验 | 第66-69页 |
| 6．4 对比测试 | 第69-71页 |
| 7 结论 | 第71-72页 |
| 8 参考资料 | 第72-75页 |
| 9 硕士期间作者科研成果简介 | 第75-76页 |
| 10 论文成果申明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
