| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·薄膜技术的发展及应用 | 第8-9页 |
| ·薄膜参数的测试方法 | 第9-12页 |
| ·研究意义和本文内容 | 第12-13页 |
| 参考文献 | 第13-19页 |
| 第二章 透射光谱法 | 第19-29页 |
| ·测量原理 | 第19-23页 |
| ·测量装置 | 第23-24页 |
| ·透射光谱法的主要优点 | 第24-27页 |
| ·小结 | 第27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第三章 模拟退火算法求解薄膜参数的应用研究 | 第29-40页 |
| ·薄膜参数的求解方法 | 第29页 |
| ·优化算法介绍 | 第29-32页 |
| ·模拟退火算法在求解薄膜参数中的应用 | 第32-37页 |
| ·模拟退火算法的原理 | 第32-33页 |
| ·模拟退火算法在处理透射光谱测量数据中的应用 | 第33-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 第四章 透明薄膜的测量 | 第40-48页 |
| ·所测的薄膜较厚，且在所测的波段色散较小 | 第40-45页 |
| ·所测的薄膜较薄，或在所测的波段色散较大 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第五章 吸收薄膜的测量 | 第48-57页 |
| ·在所测波段忽略薄膜的色散和吸收的变化 | 第48-50页 |
| ·在整个光谱区内均考虑薄膜的色散和吸收的变化以及表面粗糙度的影响 | 第50-56页 |
| ·分段求解 | 第51-54页 |
| ·同时求解 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
| 第六章 误差分析 | 第57-60页 |
| ·薄膜参数的误差来源 | 第57页 |
| ·随机误差分析 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第七章 总结 | 第60-61页 |
| 附录 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 声明 | 第63页 |