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柔性微图形复制技术的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
第一章 柔性微图形复制技术的发展要求第5-15页
 1.1 引言第5-6页
 1.2 柔性微图形复制技术的发展要求第6-15页
第二章 软光刻技术第15-30页
 2.1 软光刻基本原理第16-25页
 2.2 软光刻相关技术第25-30页
第三章 三维定位压控微流沉积系统第30-40页
 3.1 系统的基本组成第30-33页
 3.2 流体动力学模型第33-38页
 3.3 沉积图案结果分析第38-40页
第四章 用软光刻技术和三维定位压控微流沉积系统制作柔性微结构第40-52页
 4.1 用三维定位压控微流沉积系统制作第40-46页
 4.2 用软光刻技术实现柔性微结构第46-52页
第五章 应用前景探讨第52-56页
致谢第56-57页
硕士期间发表的论文第57页

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