中文摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-5页 |
第一章 柔性微图形复制技术的发展要求 | 第5-15页 |
1.1 引言 | 第5-6页 |
1.2 柔性微图形复制技术的发展要求 | 第6-15页 |
第二章 软光刻技术 | 第15-30页 |
2.1 软光刻基本原理 | 第16-25页 |
2.2 软光刻相关技术 | 第25-30页 |
第三章 三维定位压控微流沉积系统 | 第30-40页 |
3.1 系统的基本组成 | 第30-33页 |
3.2 流体动力学模型 | 第33-38页 |
3.3 沉积图案结果分析 | 第38-40页 |
第四章 用软光刻技术和三维定位压控微流沉积系统制作柔性微结构 | 第40-52页 |
4.1 用三维定位压控微流沉积系统制作 | 第40-46页 |
4.2 用软光刻技术实现柔性微结构 | 第46-52页 |
第五章 应用前景探讨 | 第52-56页 |
致谢 | 第56-57页 |
硕士期间发表的论文 | 第57页 |