| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·太阳能光伏电力及支撑产业概况 | 第7-9页 |
| ·晶体硅光伏技术主导地位和高纯硅料的需求 | 第9-11页 |
| ·西门子法等多晶硅生产技术 | 第11-13页 |
| ·西门子法生产多晶硅中的碳头料 | 第13-14页 |
| ·晶硅材料中的碳杂质与光伏行业中所用的石墨 | 第14-16页 |
| ·本论文的研究目的和主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 西门子法多晶硅碳头料/石墨界面结构与剥离技术研究 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·实验方法 | 第18-19页 |
| ·材料与试样 | 第18-19页 |
| ·实验仪器与试剂 | 第19页 |
| ·实验过程 | 第19页 |
| ·结果与讨论 | 第19-30页 |
| ·西门子法多晶硅碳头料/石墨界面结构分析 | 第19-23页 |
| ·浓硫酸与浓硝酸混合酸处理碳头料 | 第23-27页 |
| ·氢氟酸与浓硝酸处理碳头料 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 西门子法生产多晶硅还原沉积生产用石墨夹头表面涂层技术研究 | 第31-47页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·实验方法 | 第32页 |
| ·材料与试剂 | 第32页 |
| ·仪器与设备 | 第32页 |
| ·实验过程 | 第32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-46页 |
| ·玻璃碳涂层低温下固化与高温烧结工艺 | 第32-35页 |
| ·玻璃碳涂层的非晶态结构 | 第35-37页 |
| ·涂层的表面形貌与力学性能 | 第37-42页 |
| ·玻璃碳涂层的导电性能 | 第42-43页 |
| ·碳化硅作为石墨夹头表面涂层的可行性观察与分析 | 第43-44页 |
| ·关于利用预沉积硅料薄层作为石墨夹头表面涂层的可行性观察与分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 总结 | 第47-48页 |
| ·主要的研究结论 | 第47页 |
| ·本课题的创新之处 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
