| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-21页 |
| ·光纤通信简介 | 第10-13页 |
| ·通信红外光电探测器介绍 | 第13-20页 |
| ·本论文主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 器件材料生长 | 第21-42页 |
| ·Ge量子点生长方法 | 第21-29页 |
| ·Ge量子点生长条件 | 第29-38页 |
| ·器件材料结构设计及生长 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 器件制备工艺 | 第42-58页 |
| ·器件版图设计 | 第42-44页 |
| ·器件制备工艺 | 第44-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 器件性能测试 | 第58-67页 |
| ·I-V特性测试与分析 | 第58-59页 |
| ·光谱特性测试与分析 | 第59-61页 |
| ·1.33um和1.55um光电响应测试与分析 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结及展望 | 第67-69页 |
| ·实验总结 | 第67页 |
| ·未来展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 附录:发表论文情况 | 第71-73页 |
| 设计图纸 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76页 |