激光声表面波系统及其在薄膜杨氏模量测量中的应用研究

中文摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-16页
·课题研究背景和意义	第8页
·杨氏模量检测技术的国内外发展现状	第8-13页
·激光声表面波的原理和现状	第13-14页
·选题目的及研究内容	第14-16页
第二章 声表面波理论色散曲线计算	第16-29页
·微量体积单元中弹性波的传播	第16-18页
·各向同性介质中声表面波的传播	第18-22页
·分层介质中声表面波的传播	第22-28页
·小结	第28-29页
第三章 差分共焦声表面波检测系统的设计与搭建	第29-49页
·差分共焦声表面波检测系统	第29-30页
·声表面波激发子系统	第30-33页
·声表面波检测子系统	第33-40页
·共焦检测光路	第33-34页
·差分输出光路	第34-40页
·数据采集与处理子系统	第40-42页
·数据采集	第40页
·数据处理	第40-42页
·PVDF 压电检测系统的设计	第42-48页
·小结	第48-49页
第四章 实验结果及数据处理	第49-58页
·压电检测系统与差分共焦检测系统的比对测试	第49-51页
·差分共焦声表面波检测系统与纳米压痕仪的比对测试	第51-57页
·薄膜杨氏模量大于基底(样品 A)的情况	第51-54页
·薄膜杨氏模量小于基底(样品 B)的情况	第54-57页
·小结	第57-58页
第五章 结论与展望	第58-59页
·结论	第58页
·工作展望	第58-59页
参考文献	第59-63页
发表论文及科研情况说明	第63-65页
致谢	第65页