超精密磨削硅片的软磨料砂轮的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·单晶硅的性质和制备 | 第10-15页 |
| ·单晶硅的结构特性 | 第10-12页 |
| ·单晶硅的力学特性 | 第12-14页 |
| ·单晶硅的制备 | 第14-15页 |
| ·硅片的加工工艺及其发展趋势 | 第15-20页 |
| ·传统的硅片加工工艺 | 第15-16页 |
| ·硅片加工工艺的发展方向 | 第16-18页 |
| ·硅片超精密磨削技术概述 | 第18-20页 |
| ·低损伤磨削技术的研究现状 | 第20-23页 |
| ·硅片在线电解修锐磨削技术 | 第20-21页 |
| ·硅片延性域磨削技术 | 第21页 |
| ·硅片化学机械磨削技术 | 第21-22页 |
| ·其他的硅片低损伤磨削技术 | 第22-23页 |
| ·课题来源及本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 软磨料砂轮的组织设计优化与制造工艺的研究 | 第24-41页 |
| ·软磨料砂轮的组织设计 | 第24-28页 |
| ·软磨料的选择 | 第24-25页 |
| ·结合剂的选择 | 第25-27页 |
| ·添加剂的选择 | 第27-28页 |
| ·软磨料砂轮的制造工艺 | 第28-31页 |
| ·软磨料砂轮的组织优化试验 | 第31-39页 |
| ·软磨料研磨盘的加工原理 | 第31-32页 |
| ·试验方案设计和试验条件 | 第32-34页 |
| ·试验结果讨论 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 3 软磨料砂轮磨削性能试验研究 | 第41-57页 |
| ·软磨料砂轮的制造 | 第41-43页 |
| ·软磨料砂轮结构的设计 | 第41-42页 |
| ·软磨料砂轮的制造 | 第42-43页 |
| ·软磨料砂轮的修整研究 | 第43-46页 |
| ·软磨料砂轮的修整方法及修整工具 | 第43-45页 |
| ·软磨料砂轮的修整试验 | 第45-46页 |
| ·软磨料砂轮的磨削性能试验 | 第46-56页 |
| ·试验条件与检测方法 | 第46-49页 |
| ·试验结果与讨论 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 软磨料砂轮磨削硅片的表面材料去除机理研究 | 第57-70页 |
| ·软磨料砂轮磨削硅片的材料去除机理概述 | 第57-58页 |
| ·软磨料砂轮磨削硅片表面化学成分的研究 | 第58-65页 |
| ·试验条件与检测方法 | 第58-59页 |
| ·试验结果与讨论 | 第59-64页 |
| ·软磨料砂轮磨削硅片的材料去除模型 | 第64-65页 |
| ·软磨料砂轮的改进 | 第65-68页 |
| ·软磨料砂轮配方的改进 | 第65-66页 |
| ·改进软磨料砂轮的磨削性能试验 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
