工业硅定向凝固提纯研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
1 绪论 | 第9-23页 |
·立题背景 | 第9-11页 |
·多晶硅材料的制备工艺及生产现状 | 第11-19页 |
·多晶硅制备工艺 | 第11-17页 |
·多晶硅生产现状 | 第17-19页 |
·定向凝固 | 第19-22页 |
·定向凝固工艺发展 | 第19-20页 |
·定向凝固工艺在多晶硅材料中的应用 | 第20-22页 |
·本论文研究的主要目的及内容 | 第22-23页 |
2 实验设计及实验原理 | 第23-34页 |
·实验设计 | 第23-29页 |
·实验材料 | 第23页 |
·实验设备 | 第23-26页 |
·增埚的选择 | 第26-27页 |
·定向凝固温度场设计 | 第27-28页 |
·实验方法 | 第28-29页 |
·实验原理 | 第29-34页 |
3 一次定向凝固提纯研究 | 第34-43页 |
·引言 | 第34页 |
·试样制备与实验方法 | 第34页 |
·实验结果与分析 | 第34-42页 |
·硅锭生长过程分析 | 第34-36页 |
·组织及成分分析 | 第36-40页 |
·杂质分布对电特性的影响 | 第40-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
4 定向凝固提纯影响因素的探讨 | 第43-51页 |
·引言 | 第43页 |
·试样制备与实验方法 | 第43页 |
·实验结果与分析 | 第43-50页 |
·凝固速率对工业硅提纯的影响 | 第43-48页 |
·温度分布对工业硅提纯的影响 | 第48-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
5 二次定向凝固提纯研究 | 第51-56页 |
·引言 | 第51页 |
·试样制备与实验方法 | 第51页 |
·实验结果与分析 | 第51-55页 |
·成分及组织分析 | 第51-54页 |
·电阻率分析 | 第54-55页 |
·本章小结 | 第55-56页 |
结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-61页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
致谢 | 第62-63页 |