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工业硅定向凝固提纯研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-23页
   ·立题背景第9-11页
   ·多晶硅材料的制备工艺及生产现状第11-19页
     ·多晶硅制备工艺第11-17页
     ·多晶硅生产现状第17-19页
   ·定向凝固第19-22页
     ·定向凝固工艺发展第19-20页
     ·定向凝固工艺在多晶硅材料中的应用第20-22页
   ·本论文研究的主要目的及内容第22-23页
2 实验设计及实验原理第23-34页
   ·实验设计第23-29页
     ·实验材料第23页
     ·实验设备第23-26页
     ·增埚的选择第26-27页
     ·定向凝固温度场设计第27-28页
     ·实验方法第28-29页
   ·实验原理第29-34页
3 一次定向凝固提纯研究第34-43页
   ·引言第34页
   ·试样制备与实验方法第34页
   ·实验结果与分析第34-42页
     ·硅锭生长过程分析第34-36页
     ·组织及成分分析第36-40页
     ·杂质分布对电特性的影响第40-42页
   ·本章小结第42-43页
4 定向凝固提纯影响因素的探讨第43-51页
   ·引言第43页
   ·试样制备与实验方法第43页
   ·实验结果与分析第43-50页
     ·凝固速率对工业硅提纯的影响第43-48页
     ·温度分布对工业硅提纯的影响第48-50页
   ·本章小结第50-51页
5 二次定向凝固提纯研究第51-56页
   ·引言第51页
   ·试样制备与实验方法第51页
   ·实验结果与分析第51-55页
     ·成分及组织分析第51-54页
     ·电阻率分析第54-55页
   ·本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-62页
致谢第62-63页

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