工业硅定向凝固提纯研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-23页
·立题背景	第9-11页
·多晶硅材料的制备工艺及生产现状	第11-19页
·多晶硅制备工艺	第11-17页
·多晶硅生产现状	第17-19页
·定向凝固	第19-22页
·定向凝固工艺发展	第19-20页
·定向凝固工艺在多晶硅材料中的应用	第20-22页
·本论文研究的主要目的及内容	第22-23页
2 实验设计及实验原理	第23-34页
·实验设计	第23-29页
·实验材料	第23页
·实验设备	第23-26页
·增埚的选择	第26-27页
·定向凝固温度场设计	第27-28页
·实验方法	第28-29页
·实验原理	第29-34页
3 一次定向凝固提纯研究	第34-43页
·引言	第34页
·试样制备与实验方法	第34页
·实验结果与分析	第34-42页
·硅锭生长过程分析	第34-36页
·组织及成分分析	第36-40页
·杂质分布对电特性的影响	第40-42页
·本章小结	第42-43页
4 定向凝固提纯影响因素的探讨	第43-51页
·引言	第43页
·试样制备与实验方法	第43页
·实验结果与分析	第43-50页
·凝固速率对工业硅提纯的影响	第43-48页
·温度分布对工业硅提纯的影响	第48-50页
·本章小结	第50-51页
5 二次定向凝固提纯研究	第51-56页
·引言	第51页
·试样制备与实验方法	第51页
·实验结果与分析	第51-55页
·成分及组织分析	第51-54页
·电阻率分析	第54-55页
·本章小结	第55-56页
结论	第56-57页
参考文献	第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第61-62页
致谢	第62-63页