梳齿式振动微机械谐振器的相关特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·MEMS 微机电系统概述 | 第10页 |
| ·MEMS 系统的特点及分类 | 第10-12页 |
| ·MEMS 技术的发展及应用 | 第12-14页 |
| ·MEMS 技术的发展历程 | 第12页 |
| ·MEMS 技术的应用以及前景 | 第12-13页 |
| ·国内外研究动态 | 第13-14页 |
| ·MEMS 的设计 | 第14-15页 |
| ·射频微系统与硅微谐振器 | 第15-17页 |
| ·硅微谐振器的分类 | 第15-16页 |
| ·梳齿式微谐振器 | 第16-17页 |
| ·本文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 梳齿谐振器的基本工作原理 | 第19-28页 |
| ·微谐振器静电驱动原理 | 第19-21页 |
| ·微谐振器动力学原理 | 第21-23页 |
| ·微谐振器空气阻尼分析 | 第23-27页 |
| ·空气阻尼及阻尼模型 | 第23-25页 |
| ·梳齿谐振器阻尼 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 梳齿式谐振器边缘效应的研究与分析 | 第28-37页 |
| ·完全交叠梳齿的边缘效应 | 第28-31页 |
| ·不完全交叠平行板的边缘效应 | 第31-33页 |
| ·梳齿横向间距之间的边缘效应 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 微梳齿谐振器的仿真模拟 | 第37-56页 |
| ·ANSYS 有限元仿真 | 第37-44页 |
| ·模态分析 | 第37-40页 |
| ·静力分析 | 第40-42页 |
| ·滑膜阻尼仿真分析 | 第42-44页 |
| ·梳齿式谐振器等效电路的电学仿真 | 第44-55页 |
| ·机电类比 | 第44页 |
| ·机电类比的两种方式 | 第44-46页 |
| ·梳齿式微谐振器的等效电路 | 第46-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 谐振器的频率调节优化 | 第56-65页 |
| ·用于频率调节的曲线梳齿模型 | 第57-61页 |
| ·曲线梳齿模型的仿真 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 谐振器制作加工工艺 | 第65-77页 |
| ·集成电路制造技术 | 第65-70页 |
| ·薄膜沉积 | 第66-68页 |
| ·光刻技术 | 第68-69页 |
| ·刻蚀 | 第69-70页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第70-76页 |
| ·LIGA 技术 | 第70页 |
| ·表面微加工技术 | 第70-73页 |
| ·体微加工工艺 | 第73-74页 |
| ·加工工艺中出现的问题以及改进方法 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第7章 总结和展望 | 第77-79页 |
| ·总结 | 第77-78页 |
| ·展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 附录 | 第84-85页 |
