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HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-14页
   ·太阳电池的应用前景第8-11页
     ·全球能源发展形势第8-9页
     ·太阳电池光伏发电的优势第9页
     ·国际和国内的光伏政策第9-11页
   ·HIT 太阳电池的发展及研究现状第11-12页
   ·本文的主要研究内容第12-14页
第二章 HIT 太阳电池的基本理论及相关实验测试第14-26页
   ·HIT 太阳电池的工作原理第14-15页
   ·HIT 太阳电池的基本表征参量第15-18页
     ·硅太阳电池的等效电路第15-16页
     ·HIT 太阳电池的主要参数第16-18页
   ·HIT 太阳电池的优点第18-20页
   ·影响HIT 太阳电池转换效率的因素第20-21页
   ·本文涉及的实验测试方法第21-26页
     ·少子寿命的测试第21-22页
     ·硅片表面形貌的测试第22页
     ·非晶硅膜及银膜厚度的测试第22-23页
     ·透射光谱和反射光谱的测试第23页
     ·方块电阻的测试第23-26页
第三章 HIT 太阳电池硅片清洗与本征氢化非晶硅层退火研究第26-36页
   ·HIT 太阳电池硅片清洗工艺的研究第26-30页
     ·引言第26页
     ·实验设计第26-27页
     ·实验结果与讨论第27-30页
   ·HIT 太阳电池本征氢化非晶硅层退火工艺的研究第30-35页
     ·引言第31页
     ·实验设计第31-33页
     ·实验结果与讨论第33-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 HIT 太阳电池复合透明导电膜的研究第36-54页
   ·引言第36-39页
     ·透明导电膜的种类和特点第36-37页
     ·透明导电膜的应用第37页
     ·磁控溅射工艺原理第37-39页
   ·透明导电膜的性能表征参数第39页
   ·Ag 膜光电性能的研究第39-43页
     ·氩气压强对Ag 膜光电性能的影响第40-42页
     ·射频溅射功率对Ag 膜光电性能的影响第42-43页
   ·AZO 膜制备工艺对AZO/Ag/AZO 复合膜光电性能的影响第43-48页
     ·气压的影响第43-44页
     ·射频溅射功率的影响第44-45页
     ·氧流量的影响第45-47页
     ·ZnO 靶材的Al_20_3 掺杂浓度的影响第47-48页
   ·Ag 膜厚度对AZO/Ag/AZO 复合膜光电性能的影响第48-50页
     ·实验设计第48页
     ·实验结果与讨论第48-50页
   ·AZO/Ag/AZO 复合膜对HIT 太阳电池性能影响的研究第50-52页
   ·本章小结第52-54页
第五章 总结与展望第54-58页
   ·总结第54-55页
   ·论文的创新点第55-56页
   ·对进一步研究工作的展望第56-58页
致谢第58-60页
参考文献第60-66页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文第66页

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