| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1. 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 PLZT陶瓷研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 PLZT陶瓷自身特性的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 PLZT陶瓷的工程应用研究 | 第10-12页 |
| 1.3 微驱动领域其它驱动研究 | 第12-19页 |
| 1.3.1 电磁驱动 | 第12-14页 |
| 1.3.2 压电驱动 | 第14-15页 |
| 1.3.3 电热驱动 | 第15-16页 |
| 1.3.4 静电驱动 | 第16-18页 |
| 1.3.5 其它驱动方式 | 第18-19页 |
| 1.4 论文的研究内容和章节架构 | 第19-20页 |
| 2. PLZT陶瓷光生电压特性分析 | 第20-31页 |
| 2.1 PLZT陶瓷的多物理场耦合理论 | 第20-22页 |
| 2.2 PLZT光生电压的影响因素研究 | 第22-27页 |
| 2.2.1 光强对PLZT陶瓷的光生电压幅值的影响 | 第22-24页 |
| 2.2.2 光照面积对光生电压幅值的影响 | 第24-26页 |
| 2.2.3 电极材料对光生电压的影响 | 第26-27页 |
| 2.3 偏置电场对光生电压的影响 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 3. 基于PLZT光电压的复合驱动特性研究 | 第31-48页 |
| 3.1 PLZT/PVDF的光电压电驱动特性的研究 | 第31-37页 |
| 3.1.1 PLZT/PVDF的光电压电驱动机理与数学模型 | 第31-33页 |
| 3.1.2 PLZT/PVDF的光电压电驱动特性实验 | 第33-37页 |
| 3.2 PLZT的光电-静电复合驱动特性研究 | 第37-47页 |
| 3.2.1 PLZT的光电-静电驱动机理与数学模型 | 第37-41页 |
| 3.2.2 PLZT的光电-静电驱动特性实验 | 第41-47页 |
| 3.3 本章总结 | 第47-48页 |
| 4. 光电-静电驱动MEMS柔性梁的力学特性分析 | 第48-60页 |
| 4.1 光电-静电驱动MEMS柔性梁的输出挠度 | 第48-51页 |
| 4.2 光电-静电驱动MEMS柔性梁输出挠度的影响因素分析 | 第51-56页 |
| 4.2.1 驱动光电压U对输出挠度的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.2 柔性梁的尺寸对输出挠度的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.3 电极间距d对输出挠度的影响 | 第55-56页 |
| 4.3 光电-静电场分布优化 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 5. 光电-静电复合驱动柔性梁的闭环控制策略研究 | 第60-69页 |
| 5.1 光电-静电复合驱动柔性梁的闭环控制机理 | 第60-61页 |
| 5.2 光电-静电复合驱动柔性梁的闭环控制模型 | 第61-62页 |
| 5.3 光电-静电复合驱动柔性梁的闭环控制仿真分析 | 第62-65页 |
| 5.4 光电-静电复合驱动悬臂梁闭环控制实验 | 第65-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 6. 全文总结和展望 | 第69-71页 |
| 6.1 本文主要工作和创新点 | 第69-70页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录 | 第77页 |
