| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·粉体的制备技术 | 第10-16页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第11-12页 |
| ·溶胶-凝胶法制备粉体的影响因素 | 第12-14页 |
| ·溶胶-凝胶法在制备磷酸盐材料研究中的应用 | 第14-16页 |
| ·陶瓷烧结的基本理论 | 第16-19页 |
| ·陶瓷烧结的过程 | 第16-17页 |
| ·陶瓷烧结的主要物质运输方式 | 第17页 |
| ·陶瓷烧结的影响因素 | 第17-18页 |
| ·陶瓷的低温烧结技术 | 第18-19页 |
| ·硅晶片掺杂用磷扩散源的研究进展 | 第19-22页 |
| ·气态磷扩散源 | 第20页 |
| ·液态磷扩散源 | 第20-21页 |
| ·固态磷扩散源 | 第21-22页 |
| ·固态磷扩散源扩散行为研究 | 第22-25页 |
| ·扩散理论基础 | 第22-24页 |
| ·扩散工艺过程 | 第24-25页 |
| ·论文的研究意义和主要内容 | 第25-26页 |
| ·论文的研究目的、意义 | 第25页 |
| ·论文的研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 实验 | 第26-30页 |
| ·实验原料及仪器 | 第26页 |
| ·制备工艺 | 第26-28页 |
| ·LaP_5O_(14)粉体的制备 | 第27页 |
| ·磷酸盐玻璃的熔制 | 第27页 |
| ·粉体的球磨 | 第27页 |
| ·粉体的成型 | 第27页 |
| ·试样的烧结 | 第27页 |
| ·磨削加工 | 第27-28页 |
| ·性能测试与表征 | 第28-30页 |
| ·差示扫描量热分析(DSC) | 第28页 |
| ·热重分析(TG) | 第28页 |
| ·粒度分析 | 第28页 |
| ·X射线衍射(XRD)物相分析 | 第28页 |
| ·红外光谱(IR)分析 | 第28页 |
| ·显微结构分析 | 第28页 |
| ·热膨胀系数及软化点测定 | 第28-29页 |
| ·气孔率、体积密度测定 | 第29-30页 |
| 第3章 溶胶-凝胶法制备LaP_5O_(14)粉体 | 第30-45页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·La_2O_3的预处理 | 第30-31页 |
| ·La:P对LaP_5O_(14)粉体合成工艺的影响 | 第31-34页 |
| ·溶胶-凝胶工艺对LaP_5O_(14)粉体形貌的影响 | 第34-36页 |
| ·滴定顺序对LaP_5O_(14)粉体形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·溶液浓度对LaP_5O_(14)粉体形貌的影响 | 第35-36页 |
| ·煅烧工艺对LaP_5O_(14)粉体性能的影响 | 第36-40页 |
| ·煅烧温度对LaP_5O_(14)粉体性能的影响 | 第36-38页 |
| ·保温时间对LaP_5O_(14)粉体性能的影响 | 第38-40页 |
| ·LaP_5O_(14)粉体合成过程的探讨 | 第40-41页 |
| ·LaP_5O_(14)粉体失重性能的研究 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 烧结法制备磷扩散源片 | 第45-62页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·LaP_5O_(14)粉体粒度对磷扩散源片烧结的影响 | 第45-48页 |
| ·成型压力对磷扩散源片烧成收缩和气孔率的影响 | 第48-49页 |
| ·烧结温度对磷扩散源片性能的影响 | 第49-52页 |
| ·烧结温度对磷扩散源片相组成的影响 | 第49-50页 |
| ·烧结温度对磷扩散源片微观形貌的影响 | 第50-51页 |
| ·烧结温度对磷扩散源片气孔率和密度的影响 | 第51-52页 |
| ·保温时间对磷扩散源片性能的影响 | 第52-54页 |
| ·保温时间对磷扩散源片相组成的影响 | 第52-53页 |
| ·保温时间对磷扩散源片微观形貌的影响 | 第53页 |
| ·保温时间对磷扩散源片气孔率和密度的影响 | 第53-54页 |
| ·磷酸盐玻璃添加量对磷扩散源片性能的影响 | 第54-56页 |
| ·磷酸盐玻璃添加量对磷扩散源片相组成的影响 | 第54-55页 |
| ·磷酸盐玻璃添加量对磷扩散源片密度和气孔率的影响 | 第55页 |
| ·磷酸盐玻璃添加量对磷扩散源片热膨胀系数和软化点的影响 | 第55-56页 |
| ·烧结机理的探讨 | 第56-59页 |
| ·磷扩散源片失重性能的研究 | 第59-61页 |
| ·烧结工艺对磷扩散源片失重性能的影响 | 第59页 |
| ·玻璃添加量对磷扩散源片失重性能的影响 | 第59-60页 |
| ·扩散温度对磷扩散源片失重性能的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录A (攻读学位期间所发表的学术论文目录) | 第67页 |
